К модели осаждения материалов на стенках капилляров из парогазовых смесей при импульсном нагреве
Зотов В.В.1, Прокопьев Е.П.1
1Научно-исследовательский институт материаловедения им. А.Ю. Малинина, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 4 августа 1997 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1998 г.
Теоретически рассмотрено осаждение кремния в капиллярах в процессе термохимической реакции тетрахлорида кремния с водородом при импульсном нагреве. Показано, что в результате такой реакции существенно увеличивается равномерность скорости осаждения вдоль длины капилляра.
- Прокопьев Е.П., Зотов В.В., Стаценко В.Н. // Высокочистые вещества. 1993. N 5. С. 165--173
- Прокопьев Е.П. // Высокочистые вещества. 1994. N 6. С. 63--76
- Прокопьев Е.П., Зотов В.В., Стаценко В.Н. // Высокочистые вещества. 1994. N 1. С. 39--47
- Прокопьев Е.П., Стаценко В.Н., Зотов В.В. // Высокочистые вещества. 1995. N 4. С. 54--66
- Прокопьев Е.П. // Высокочистые вещества. 1995. N 3. С. 57--65
- Прокопьев Е.П. // Высокочистые вещества. 1995. N 3. С. 66--77
- Прокопьев Е.П. // Физика и химия обраб. материалов. 1996. N 1. С. 76--87
- Прокопьев Е.П., Петров С.В., Белоусов В.С. // Петербургский журнал электроники. 1996. N 1. С. 29--40
- Прокопьев Е.П. // ЖТФ. 1995. Т. 65. Вып. 2. С. 22--29
- Прокопьев Е.П., Зотов В.В., Стаценко В.Н. // ЖПХ. 1994. Т. 67. Вып. 3. С. 503--504
- Зельдович Я.Б., Райзер Ю.П. Физика ударных волн и высокотемпературных гидродинамических явлений. М.: Наука, 1986. 686 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук