Диффузия эрбия в кремнии
Зайнабидинов С.1, Назиров Д.Э.1, Акбаров А.Ж.1, Иминов А.А.1, Тоштемиров Т.М.1
1Ташкентский государственный университет
Поступила в редакцию: 16 декабря 1996 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1997 г.
Исследована диффузия эрбия в кремнии электрическим методом. В интервале температур 1150-1250oC коэффициент диффузии эрбия увеличивается от 1.4· 10-13 до 6.2· 10-13 cm2· s-1. Полученные значения коэффициента диффузии эрбия в кремнии хорошо согласуются с данными, полученными методом меченых атомов.
- Mandelkorn J., Schwartz L., Broder J., Kautz H., Ulman R. // J. Appl. Phys. 1964. V. 35. N 7. P. 2258--2260
- Баграев Н.Т., Власенко Л.С., Волле В.М., Воронков В.Б., Грехов И.В., Добровенский В.В., Шагун А.И. // ЖТФ. 1984. Т. 54. В. 5. С. 917--928
- Назыров Д.Э., Регель А.Р., Куликов Г.С. // Препринт ФТИ им. А.Ф. Иоффе АН СССР. Л., 1987. N 1122
- Малкович Р.Ш., Назыров Д.Э. // Письма в ЖТФ. 1988. Т. 15. В. 4. С. 38--40
- Агеев В.В., Аксенов Н.С., Коковина В.Н. // Изв. ЛЭТИ. 1977. С. 80--85
- Frank W., Gosele U., Mehrer H., Seeger A. // Diffusion in Crystalline Solids / Ed. by G.E. Murch and A.S. Nowick. N.Y., 1984. P. 76
- Назыров Д.Э., Куликов Г.С., Малкович Р.Ш. // ФТП. 1991. Т. 25. В. 9. С. 1653--1654
- Назыров Д.Э., Усачева В.П., Куликов Г.С., Малкович Р.Ш. // Письма в ЖТФ. 1988. Т. 14. В. 12. С. 1102--1104
- Азимов Г.К., Зайнабидинов С.З., Назыров Д.Э. // ФТП. 1989. Т. 23. В. 3. С. 556--557
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук