Инфракрасная спектроскопия поверхности кремния, подвергнутого бомбардировке ионами азота
Бачурин В.И.1, Лепшин П.А.1, Смирнов В.К.1, Чурилов А.Б.1
1Институт микроэлектроники РАН, Ярославль
Поступила в редакцию: 23 сентября 1997 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 1998 г.
Проведено исследование методом инфракрасной Фурье-спектроскопии пропускания процессов формирования волнообразного рельефа на поверхности кремния с образованием нитрида кремния, эволюции его состава и структуры при облучении поверхности ионами азота. Впервые сделана попытка проследить эволюцию формирования волнообразного рельефа на поверхности кремния, анализируя основные спектральные характеристики (амплитуду, положение и форму) полос ИК поглощения. Показано, что изменение формы характерной полосы поглощения и положение максимума коррелируют с особенностями процесса образования рельефа на поверхности кремния. Продемонстрирована возможность использования метода ИК спектроскопии пропускания для изучения процессов структурирования поверхности полупроводников при облучении ионами химически активных элементов.
- Elst K., Vandervorst W. // J. Vac. Sci. Teсhnol. A. 1994. V. 12. N 6. P. 3205--3216
- Karen A., Nakagawa Y., Hatada M. et al. // Surf. Interface Anal. 1995. V. 23. P. 506--513
- Vajo J.J., Doty R.E., Cirlin E.-H. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1996. V. 14. N 5. P. 2709--2720
- Moon D.W., Kim K.J. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1996. V. 14. N 5. P. 2744--2756
- Wittmaak K. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1990. V. 8. N 3. P. 2246--2250
- Cмирнов В.К., Курбатов Д.А., Потапов Е.В., Жохов А.В. // Поверхность. 1993. N 10. С. 65--73
- Смирнов В.К., Кривелевич С.А., Лепшин П.А., Кибалов Д.С. // Неорганические материалы. 1998 (в печати)
- Коттон Ф., Уилкинсон Дж. Современная неорганичеcкая химия. В 3-х частях. М.: Мир. 1969. Ч. 1. 223 с. Ч. 2. 494 с. Ч. 3. 592 с
- Luckovsky G., Yang J., Chao S.S. et al. // Phys. Rev. B. 1983. V. 28. N 6. P. 3234--3240
- Волгин Ю.Н., Уханов Ю.И. // Опт. и спектр. 1975. V. XXXVIII. N 4. С. 727--730
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук