Излучающие на длине волны 1.54 mum пленки a-Si : H, легированные эрбием из металлорганического соединения Er(HFA)3*DME
Воронков В.Б.1, Голубев В.Г.1, Горшков Н.И.1, Медведев А.В.1, Певцов А.Б.1, Суглобов Д.Н.1, Феоктистов Н.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, С.-Петербург НПО "Радиевый институт им. В.Г. Хлопина", С.-Петербург
Поступила в редакцию: 22 декабря 1997 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1998 г.
Впервые в рамках стандартной низкотемпературной (<300oC) технологии РE CVD получены пленки a-Si(Er) : H, излучающие в области 1.54 mum при комнатной температуре. В качестве источника Er впервые использовано фторсодержащее металлорганическое соединение Er(HFA)3*DME, обладающее повышенной летучестью и достаточной термостабильностью. Наличие фотопроводимости в синтезированных образцах свидетельствует об их удовлетворительном электронном качестве и перспективности использования для создания светоизлучающих диодов на длину волны 1.54 mum.
- Bresler M.S., Gusev O.V., Kudoyarova V.Kh., Kuznetsov A.N., Pak P.E., Terukov E.I., Yassievich I.N., Zakharchenya B.P., Fuhs W., Sturm A. // Appl. Phys. Lett. 1995. V. 67 (24). P. 3599--3601
- Теруков Е.И., Кудоярова В.Х., Мездрогина М.М., Голубев В.Г., Sturm A., Fuhs W. // ФТП. 1996. T. 30 (5). С. 820--827
- Shin J.H., Serna R., van den Hoven G.H., Polman A., van Sark W.G.J.M., Vredenberg A.M. // Appl. Phys. Lett. 1996. V. 68 (7). P. 997--999
- Zanatta A.R., Nunes L.A.O. // Appl. Phys. Lett. 1997. V. 70 (4). P. 511--513
- Rogers J.L., Andry P.S., Varhue W.J., Adams E., Lavoie M., Klein P.B. // J. Appl. Phys. 1995. V. 78 (10). P. 6241--6248
- Andry P.S., Varhue W.J., Lapido F., Ahmed K., Klein P.B., Hengenhold P., Hunter J. // J. Appl. Phys. 1996. V. 80 (1). P. 551--558
- Физика аморфного гидрогенизированного кремния. Вып. 1 / Под ред. Дж. Джоунопулоса и Дж. Люковски. М.: Мир, 1987. С. 363
- Ni W.-X., Joelsson K.B., Du C.-X., Buyanova I.A., Pozina G., Chen W.M., Hansson G.V., Monemar B., Cardenas J., Svensson B.G. // Appl. Phys. Lett. 1997. V. 70 (25). P. 3383--3385
- Madan A. // Физика аморфного гидрогенизированного кремния. Вып. I / Под ред. Дж. Джоунопулоса и Дж. Люковски. М.: Мир, 1987. С. 310
- Morse M., Zheng B., Palm J., Duan X., Kimerling L.C. // Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 1996. V. 422. P. 41--46
- Kenyon A.J., Trwoga P.F., Federighi M., Pitt C.W. // Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 1995. V. 358. P. 117--122
- Гребенщиков Н.П., Сидоренко Г.В., Суглобов Д.Н. // Радиохимия. 1990. Т. 32 (6). С. 14--19
- Горшков Н.И., Суглобов Д.Н., Сидоренко Г.В. // Радиохимия. 1995. Т. 37 (3). С. 196--200
- Street R. // Adv. in Physics. 1981. V. 30 (5). P. 593--676
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
