Издателям
Вышедшие номера
Исследование YBa2Cu3O7-x пленок на различных стадиях роста методом рассеяния ионов средних энергий
Афросимов В.В.1, Ильин Р.Н.1, Карманенко С.Ф.2, Сахаров В.И.1, Семенов А.А.2, Серенков И.Т.1, Яновский Д.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет, Санкт-Петербург, Россия
Email: R.Ilin@pop.ioffe.rssi.ru
Поступила в редакцию: 16 сентября 1998 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1999 г.

Начальные стадии образования и рост пленок иттрий-бариевого купрата в процессе магнетронного распыления керамической мишени были исследованы посредством сочетания диагностик рассеяния ионов средних энергий (РИСЭ) и сканирующей микроскопии. Были установлены существенные различия в механизмах роста пленок YBa2Cu3O7-x на MgO и на подложках со структурой перовскита --- SrTiO3 и LaAlO3 для температуры осаждения 700-780oC и давлении смеси газов (Ar+O2)~ 70 Pa. Моделирование спектров РИСЭ (ионы H+ или He+ с начальными энергиями 150--250 keV) и сравнение с экспериментальными данными позволило установить, что в первом случае пленка формируется из пирамидальных островков, а во втором --- происходит двумерный послойный рост, начиная практически с первого монослоя. Для островкого механизма роста метод РИСЭ позволил определить степень покрытия поверхности подложки и показать, что наряду с фазой YBa2Cu3O7-x происходит образование эпитаксиальных зародышей фазы Cu2O. После первого, начального этапа формирования пленки выделяется второй этап --- начало регулярного роста при приведенных толщинах 7-15 nm. Для него характерно практически полное покрытие подложки и стабильный состав. Третий этап --- регулярный (по-видимому, спиральный) рост --- наблюдался при толщинах более 100 nm. На этом этапе качество структуры пленки по толщине и на поверхности несколько уступало качеству монокристаллов YBa2Cu3O7-x и не зависело от типа подложки.
  • Z.-Y. Shen. High temperature superconducting microwave circuits. Artech house. Nortwood, MA (1994). 420 p
  • X-Y. Sheng, D.H. Lowndess, S. Zhu, J.D. Budai, R.J. Warmack. Phys. Rev. B45, 13, 7584 (1992)
  • M. Ece, E.G. Gonzalez, H.-U. Habermeir, B. Oral. J. Appl. Phys. 77, 4, 1646 (1995)
  • Е.К. Гольман, В.И. Гольдрин, Д.А. Плоткин, С.В. Разумов. Письма в ЖТФ 22, 22, 82 (1996)
  • D.G. Schlom, D. Anselmetti, J.G. Bednorz, R.F. Broom, A. Catana, T. Frey, Ch. Gerber, H.-J. Guntherodt, H.P. Lang, J. Mannhart. Zs. Phys. B65, 2, 163 (1992)
  • D. Huttner, U. Gunther, O. Meyer, J. Reiner, G. Linker. Appl. Phys. Lett. 65, 22, 2863 (1994)
  • В.В. Афросимов, Г.О. Дзюба, Р.Н. Ильин, И.Е. Лещенко, М.Н. Панов, В.И. Сахаров, И.Т. Серенков, А.В. Суворов, В.В. Третьяков. СХФТ 4, 1767 (1991).
  • S.F. Karmanenko, M.V. Belousov, V.Yu. Davydov, R.A. Chakalov, G.O. Dzjuba, R.N. Il'in, et al. Supercond. Sci. Technol. 6, 1, 23 (1993).
  • В.В. Афросимов, Г.О. Дзюба, Р.Н. Ильин, М.Н. Панов, В.И. Сахаров, И.Т. Серенков, Е.А. Ганза. ЖТФ 66, 12, 76 (1996)
  • W.K. Chu, J.W. Meyer, M.A. Nicolett. Backscattering Spectrometry. Academic Press, N. Y. (1978). 380 p
  • M. Zinke-Allmang. Nucl. Instr. and Meth. B64, 1, 113 (1992)
  • N. Savvides, A. Katsarov. Physica C226, 1, 23 (1994)
  • F.J.B. Stork, K.A. Beall, A. Roshko, D.C. DeGroot, D.A. Rudman, R.H. Ono, J. Krupka. IEEE Transactions on Applied Superconductivity 7, 2, 1921 (1997)
  • В.В. Афросимов, Р.Н. Ильин, С.Ф. Карманенко, М.Н. Панов, В.И. Сахаров, И.Т. Серенков. Поверхность 8, 71 (1997)
  • R. Schulz, M. Simoneau, J. Lanteigne. Physica C233, 1, 113 (1994)
  • Z. Han, T.I. Selinoder, V. Helmersson. J. Appl. Phys. 75. 2020 (1994)
  • S. Zhu, D.H. Lowndes, B.C. Chakoumakos, S.J. Pennycook, X-Y. Zheng, R.J. Warmack. Appl. Phys. Lett. 62, 25, 3363 (1993)
  • J.R. Sheats, P. Merchant. Appl. Phys. Lett. 62, 1, 99 (1993)
  • L.C. Feldman, J.W. Mayer, S.R. Picraux. Materials Analysis by Ion Channeling. Academic Press, N. Y. (1992). 300 p
  • R. Ramesh, D.M. Hwang, T.S. Ravi, A. Inam, X.D. Wu, T. Venkatesan. Physica C171, 1--2, 14 (1990)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.