Методом емкостной спектроскопии исследованы особенности образования радиационных дефектов в кремниевых диффузионных p+-n-структурах при облучении ускоренными электронами. Показано, что при толщинах базы p+-n-структур 0.2--0.6 mm наблюдается существенное изменение концентрации образующихся радиационных дефектов с максимумом при 0.25 mm. При уменьшении толщины базы менее 0.2 mm или увеличении более 0.6 mm концентрация радиационных дефектов имеет слабую зависимость от толщины. Наблюдаемый эффект объяснен изменением соотношений концентрации вакансии и междоузельных атомов кремния в базе при формировании p+-n-структур.
Физические процессы в облученных полупроводниках / Под ред. Л.С. Смирнова. Новосибирск: Наука, 1977. 256 с
Вопросы радиационной технологии полупроводников / Под ред. Л.С. Смирнова. Новосибирск: Наука, 1980. 296 с
Вавилов В.С., Ухин Н.А. Радиационные дефекты в полупроводниках и полупроводниковых приборах. М.: Атомиздат, 1969. 312 с
Действие проникающей радиации на изделия электронной техники / Под ред. Е.А. Ладыгина. М.: Сов. радио, 1980. 224 с
Коршунов Ф.П., Гатальский Г.В., Иванов Г.М. Радиационные эффекты в полупроводниковых приборах. Минск: Наука и техника, 1976. 232 с
Берман Л.С., Лебедев А.А. Емкостная спектроскопия глубоких центров в полупроводниках. Л.: Наука, 1981. 176 с
Вавилов В.С., Глазман В.Б., Исаев Н.У., Мукашев Б.Н., Спицын А.В. // ФТП. 1974. Т. 8. Вып. 3. С. 471--475
Золотухин А.А., Милевский Л.С. // ФТП. 1972. Т. 6. Вып. 11. С. 2240--2242
Добровинский Ю.М., Махкамов Ш., Мирзаев А. и др. // ФТП. 1991. Т. 25. Вып. 3. С. 523--528
Золотухин А.А., Коваленко А.К., Мещерякова Г.М. и др. // ФТП. 1975. Т. 9. Вып. 6. С. 1201--1202
Махкамов Ш., Маманова М., Пахаруков Ю.В., Турсунов Н.А. // Письма в ЖТФ. 1992. Т. 18. Вып. 24. С. 44--48
Герасименко Н.Н., Двуреченский А.В., Панов В.И., Смирнов Л.С. // ФТП. 1971. Т. 5. Вып. 8. С. 1644--1646
Nicollian E.N., Brews J.R. MOS Physics and Technology. New York: Wiley, 1982
Выжигин Ю.В., Соболев Н.А., Грессеров Б.П., Шек Е.И. // ФТП. 1991. Т. 25. Вып. 8. С. 1324--1331
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2017 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук