"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Определение теплопроводности алмазных поликристаллических пленок с помощью фотоакустического эффекта
Образцов А.Н.1, Павловский И.Ю.1, Ральченко В.Г.2, Окуши Х.3, Ватанабе Х.3
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
2Институт общей физики РАН, Москва, Россия
3Электротехническая лаборатория, Цукуба, Ибараки 305, Япония
Поступила в редакцию: 30 сентября 1997 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1999 г.

Предложен новый метод определения теплопроводящих свойств алмазных пленок, основанный на фотоакустическом эффекте. С использованием этого метода исследованы алмазные поликристаллические пленки, выращенные на кремнии путем газофазного химического осаждения в плазме СВЧ разряда. Полученная величина коэффициента теплопроводности оказалась примерно вдвое ниже, чем в монокристаллическом алмазе.
  • The Properties of Diamond / Ed. by J.E. Field. London: Academic Press, 1990. 674 p
  • Spitsyn B.V. // Handbook of Crystal Growth. Vol. 3. Elsevier Science B.V., 1994. P. 403
  • Graebner J.E. // Diamond Films and Thchnology. 1993. Vol. 3. P. 77
  • Visser E.P., Versteegen E.H., van Enckervort W.J.P. // J. Appl. Phys. 1992. Vol. 71. P. 3238
  • Anthony T.R., Banholzer W.F., Fleisher J.F. et al. // Phys. Rev. B. 1990. Vol. 4. P. 1104
  • Graebner J.E., Ralchenko V.G., Smolin A.A. et al. // Diamond and Related Materials. 1996. Vol. 5. P. 643
  • Worner E., Wild C., Muller-Sebert W. et al. // Diamond and Related Materials. 1996. Vol. 5. P. 688
  • Graebner J.E., Mucha J.A., Seibles L., Kammlott G.W. // J. Appl. Phys. 1992. Vol. 71. P. 3143
  • Fournier D., Plaman K. // Diamond and Related Materials. 1995. Vol. 4. P. 809
  • Rosencwaig A. Photoacoustics and Photoacoustic Spectroscopy. New York: Wiley, 1980. 309 p
  • Rosencwaig A., Gersho A. // J. Appl. Phys. 1976. Vol. 47. P. 64
  • Bachmann P.K., Wiechert D.U. // Diamond and Related Materials. 1992. Vol. 1. P. 422
  • Collins A.T. // Diamond and Related Materials. 1992. Vol. 1. P. 457
  • Вавилов В.С., Гиппиус А.А., Зайцев А.М. и др. // ФТП. 1980. Т. 14. С. 1078
  • Obraztsov A.N., Okushi H., Watanabe H., Pavlovsky I.Yu. // Diamond and Related Materials. 1997. Vol. 6. P. 1124
  • Образцов А.Н., Изуми Т., Окуши Х. и др. // Вестн. Московского ун-та. Сер. 3. Физика. Астрономия. 1997. N 3. С. 45
  • Diamond: Electronic Properties and Applications / Ed. by L.S. Pan, D.R. Kania. Kluwer Academic Publishers, 1995. P. 370
  • Graebner J.E., Reiss M.E., Seibles L. et al. // Phys. Rev. B. 1994. Vol. 50. P. 3702
  • Kiyota H., Okushi H., Ando T. et al. // Proc. 6-=SUP=-th-=/SUP=- European Conf. on Diamond, Diamond-like and Related Materials. Barcelona, 1995. P. 8094
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.