Рассмотрен процесс осаждения пленок оксида олова методом реактивного распыления стехиометрической мишени. Установлены условия, при которых можно сформировать кристаллическую структуру слоя и получить газочувствительность без последующего высокотемпературного отжига.
Fang Y.K., Lee J.J. // Thin Solid Films. 1989. Vol. 169. P. 51--56
Williams G., Coles G. // Sensors and Actuators. 1995. Vol. B24-25. P. 469--473
Huang J.-L., Kuo D.-W., Shew B.-Y. // Surf. and Coat. Technol. 1996. Vol. 79. P. 263--267
Kaciulis S., Mattogno G., Galdikas A. et al. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1996. Vol. 14. N 6. P. 3164--3168
Di Giulio M., Serra A., Tepore A. et al. // Mater. Sci. Forum. 1996. Vol. 203. P. 143--148
Andreev S.K., Popova L.I., Gueorguiev V.K., Manolov E.B. // Vacuum. 1996. Vol. 47. N 11. P. 1325--1328
Kisin V.V., Sysoev V.V., Simakov V.V., Voroshilov S.A. // Proc. of 10-=SUP=-th-=/SUP=- Europ. Conf. on Solid State Transducers "Eurosensors X". Leuven (Belgium), 1996. Vol. 3. P. 977--980
Кисин В.В., Ворошилов С.А., Сысоев В.В., Симаков В.В. // ПТЭ. 1995. N 5. С. 178--181
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2017 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук