Влияние состояния поверхности катода на характеристики импульсного тлеющего разряда с полым катодом
Гаврилов Н.В.1, Романов С.Е.1
1Институт электрофизики УрО РАН, Екатеринбург, Россия
Поступила в редакцию: 6 октября 1997 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 1999 г.
Исследовано влияние частоты повторения импульсов (0.1-103 s-1) и среднего тока разряда (0-1 A) на время запаздывания пробоя и напряжение горения тлеющего разряда низкого давления (p<0.1 Pa) в электродной системе типа обращенный магнетрон с большой площадью поверхности катода (~ 103 cm2). Показано, что увеличение частоты приводит к многократному уменьшению не только статистического разброса времени запаздывания, но и времени формирования разряда, а величина среднего тока разряда оказывает существенное влияние на напряжение его горения. Дана качественная интерпретация механизма наблюдаемых явлений, основывающаяся на наличии тонких диэлектрических пленок на поверхности катода.
Gavrilov N.V., Mesyats G.A., Nikulin S.P. et al // J. Vac. Sci. Technol. 1996. Vol. A14(3). P. 1050--1055
Гаврилов Н.В., Завьялов М.А., Никулин С.П. и др. // Письма в ЖТФ. 1993. Т. 19. Вып. 21. С. 57--60
Gavrilov N.V., Nikulin S.P. // Proc. XVI Intern, Symp. on Dischardes and Electrical Insulation in Vacuum / Ed. G. Mesyats. Proc. SPIE. 2259. 1994. P. 118--121
Gavrilov N.V., Mesyats G.A. // Proc. XXIII Intern. Conf. on Phenomena in Ionized Gases / Ed. M.C. Bordage \& A. Gleizes. Toulouse: Univ. of P. Sabatier, 1997. Vol. 2. P. 32--33
Paetow H. // Z. Physik. 1939. N 111. P. 770--791
Kudrle V., Le Due E., Fitaire M. // Proc. XXIII Intern. Conf. on Phenomena in Ionized Gases / Ed. M.C. Bordage \& A. Gleizes. Toulouse: Univ. of P. Sabatier, 1997. Vol. 4. P. 28--29
Королев Ю.А., Месяц Г.А. Физика импульсного пробоя газов. М.: Наука, 1991
Плешивцев Н.В. Катодное распыление. М.: Атомиздат, 1968
Houston J.E., Bland R.D. // J. Appl. Phys. 1973. Vol. 44. N 6. P. 2504--2508
Чистяков П.Н., Татаринова Н.В. // ЖТФ. 1965. Т. 35. Вып. 7. С. 1333--1355
Каминский М. Атомные и ионные столкновения на поверхности металла. М.: Мир, 1967. 506 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.