"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние состояния поверхности катода на характеристики импульсного тлеющего разряда с полым катодом
Гаврилов Н.В.1, Романов С.Е.1
1Институт электрофизики УрО РАН, Екатеринбург, Россия
Поступила в редакцию: 6 октября 1997 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 1999 г.

Исследовано влияние частоты повторения импульсов (0.1-103 s-1) и среднего тока разряда (0-1 A) на время запаздывания пробоя и напряжение горения тлеющего разряда низкого давления (p<0.1 Pa) в электродной системе типа обращенный магнетрон с большой площадью поверхности катода (~ 103 cm2). Показано, что увеличение частоты приводит к многократному уменьшению не только статистического разброса времени запаздывания, но и времени формирования разряда, а величина среднего тока разряда оказывает существенное влияние на напряжение его горения. Дана качественная интерпретация механизма наблюдаемых явлений, основывающаяся на наличии тонких диэлектрических пленок на поверхности катода.
  • Gavrilov N.V., Mesyats G.A., Nikulin S.P. et al // J. Vac. Sci. Technol. 1996. Vol. A14(3). P. 1050--1055
  • Гаврилов Н.В., Завьялов М.А., Никулин С.П. и др. // Письма в ЖТФ. 1993. Т. 19. Вып. 21. С. 57--60
  • Gavrilov N.V., Nikulin S.P. // Proc. XVI Intern, Symp. on Dischardes and Electrical Insulation in Vacuum / Ed. G. Mesyats. Proc. SPIE. 2259. 1994. P. 118--121
  • Gavrilov N.V., Mesyats G.A. // Proc. XXIII Intern. Conf. on Phenomena in Ionized Gases / Ed. M.C. Bordage \& A. Gleizes. Toulouse: Univ. of P. Sabatier, 1997. Vol. 2. P. 32--33
  • Paetow H. // Z. Physik. 1939. N 111. P. 770--791
  • Kudrle V., Le Due E., Fitaire M. // Proc. XXIII Intern. Conf. on Phenomena in Ionized Gases / Ed. M.C. Bordage \& A. Gleizes. Toulouse: Univ. of P. Sabatier, 1997. Vol. 4. P. 28--29
  • Королев Ю.А., Месяц Г.А. Физика импульсного пробоя газов. М.: Наука, 1991
  • Плешивцев Н.В. Катодное распыление. М.: Атомиздат, 1968
  • Houston J.E., Bland R.D. // J. Appl. Phys. 1973. Vol. 44. N 6. P. 2504--2508
  • Чистяков П.Н., Татаринова Н.В. // ЖТФ. 1965. Т. 35. Вып. 7. С. 1333--1355
  • Каминский М. Атомные и ионные столкновения на поверхности металла. М.: Мир, 1967. 506 с
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.