"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Дальнодействующее геттерирование микродефектов в монокристаллах кремния при формировании на их поверхности слоев пористого кремния и ионном облучении
Перевощиков В.А.1, Скупов В.Д.1
1Научно-исследовательский физико-технический институт Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород
Поступила в редакцию: 12 ноября 1998 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1999 г.

Приводятся экспериментальные данные о растворении микродефектов в приповерхностных областях монокристаллов кремния при электрохимическом формировании слоев пористого кремния и последующем облучении ионами аргона. Уменьшение концентрации микродефектов зафиксировано вблизи границы раздела с пористым кремнием и вблизи обратной поверхности образцов.
  • Лабунов В.А., Бондаренко В.П., Борисенко В.Е. // Зарубежная электронная техника. 1978. N 15. С. 3--47
  • Canham L.T. // Appl. Phys. Lett. 1990. V. 57. P. 1046
  • Куликов А.В., Перевощиков В.А., Скупов В.Д. и др. // Письма в ЖТФ. 1997. Т. 23. В. 13. С. 27--31
  • Павлов П.В., Семин Ю.А., Скупов В.Д. и др. // ФТП. 1986. Т. 20. С. 503--507
  • Перевощиков В.А., Скупов В.Д., Шенгуров В.Г. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 1998. N 4. С. 44--46
  • Алехин В.П. Физика прочности и пластичности поверхностных слоев материалов. М.: Наука, 1983. 280 с
  • Горшков О.Н., Перевощиков В.А., Скупов В.Д. // Поверхность. Физика, химия, механика. 1989. N 7. С. 155--157
  • Палатник Л.С., Черемской П.Г., Фукс М.Я. Поры в пленках. М.: Энергоиздат, 1982. 216 с
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.