Исследована диффузия примесей бора и фосфора в макропористый кремний с регулярной структурой глубоких цилиндрических пор, при которой обеспечивается сквозное легирование стенок. Полученные слои толщиной ~ 150 mum были квазиоднородно легированы и имели плоский фронт диффузии, а их электрические параметры мало отличались от параметров легированного монокристалла. Продемонстрирована возможность применения глубокой диффузии фосфора для изготовления n-n+-структур.
Lehman V., Foll H. // J. Electrochem. Soc. 1990. V. 137. P. 653
Lehmann V. // J. Electrochem. Soc. 1993. V. 140. P. 2836
Lehmann V. // Thin Solid Films. 1995. V. 255. P. 1
Lehmann V., Gruning // Thin Solid Films. 1997. V.297. P. 13
Gruning U., Lehmann V., Ottow S., Bush K. // Appl. Phys. Lett. 1996. V. 68. P. 747
Gruning U., Lehmann V., Ottow S., Bush K. // Thin Solid Films. 1996. V. 276. P. 151
Birner A., Gruning U., Ottow S., Schneider S., Muller F., Lehmann V., Foll H., Gosele U. // Phys. Stat. Solidi A. 1998. V. 165 (1). P. 111
Aristov V.V., Starkov V.V., Shabel'nikov, Kusnetsov S.M., Ushakov A.P., Grigoriev V.V., Tseitlin V.M. Opt. Commun. 1999. V. 161. P. 203
Rossi A.M., Amato G., Boarino L., Novero C. E-MRS Spring Meeting. Book of Abstracts, 1999, Strasbourg, abstract I--I. 11
Lehmann V., Honlein W., Reisinger H., Spitzer A., Wendt H., Willer Y. // Thin Solid Films. 1997. V. 297. P. 321
Amato G., Boarino L., Brunetto N., Turnaturi M. // Thin Solid Films. 1997. V. 297. P. 321
Зи С.М. Физика полупроводниковых приборов. М., Энергия, 1973. 656 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.