Анализ края фундаментального поглощения в пленках аморфного гидрогенизированного углерода
Васин А.В.1, Матвеева Л.А.1, Куцай А.М.1
1Институт физики полупроводников НАН Украины, Киев Институт сверхтвердых материалов НАН Украины, Киев
Поступила в редакцию: 16 июня 1999 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 1999 г.
Методом оптической спектроскопии исследовалась высокоэнергетическая область края фундаментального поглощения в пленках аморфного гидрогенизированного углерода, полученных при различных параметрах осаждения. Крутизна края поглощения анализировалась по наклону линейной зависимости Тауца. Результаты оптической спектроскопии сравнивались с данными комбинационного рассеяния света и содержанием связанного водорода в пленках. Установлена корреляция между крутизной края поглощения, параметрами осаждения и структурой пленок.
- Lettington A.H. // Phil. Trans. R. Soc. Lond. A. 1993. V. 342. N 1664. P. 193--222
- Robertson J. // Phil. Trans. R. Soc. Lond. A. V. 342. N 1664. P. 277--286
- Aivazova L.S., Novicov N.V., Khandozhko S.I. et al. // Journal of CVD. 1997. V. 6. N 1. P. 52--56
- Dillon R.O., John A. Woollam and Karkanant V. // Phys. Rev. B. 1984. V. 29. N 6. P. 3482--3489
- Hisao-chu Tsai, Bogy D.B. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1987. V. 5. N 6. P. 3287--3312
- Tamor M.A., Haire J.A., Wu C.H. et al. // Appl. Phys. Lett. 1989. V. 54. N 2. P. 123--125
- Dischler B., Bubenzer A., Koidi P. // Solid Stat. Com. 1983. V. 48. N 2. P. 105--108
- Tauc J., Grigorovici R., Vancu A. // Phys. Stat. Sol. 1966. V. 15. N 1. P. 627--637
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук