Издателям
Вышедшие номера
Термодесорбция кремния с текстурированных лент тантала
Агеев В.Н.1, Афанасьева Е.Ю.1, Потехина Н.Д.1, Потехин А.Ю.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 12 мая 1999 г.
Выставление онлайн: 20 января 2000 г.

Изучалось взаимодействие Si с Ta методами оже-спектроскопии и температурно-программируемой десорбции (ТПД). Показано, что при монослойном покрытии адатомы Si начинают проникать в объем подложки при T>=q 1400 K. Форма спектра и кривые отжига могут быть объяснены влиянием латерального отталкивания Si--Si в адслое не только на десорбцию, но и на уход Si в объем. Из анализа экспериментальных данных были определены некоторые соотношения между кинетическими параметрами. Их использование в численном расчете на основе ранее предложенной модели позволило определить (путем сравнения расчета с опытом) кинетические параметры всех процессов взаимодействия Si с подложкой из Ta при ТПД (десорбция, уход в объем, диффузии и выхода Si на поверхность). Показано, что удовлетворительное описание эксперимента получается только в предположении, что диффузия в конце ТПД после достижения максимума происходит лишь в пределах тонкого слоя вблизи поверхности, поэтому атомы Si быстрее выходят на поверхность и десорбируются, чем диффундируют в объем. Это означает, что слой вблизи поверхности при высоких температурах во время ТПД имеет нарушенную структуру по сравнению с начальной структурой Ta. Работа выполнена в рамках программы "Атомные поверхностные структуры" (проект N 4.5.99).
  • G. Ross. Surf. Rep. 7, 1 (1987)
  • В.Н. Агеев, Е.Ю. Афанасьева, Н.Р. Галль, С.Н. Михайлов, Е.В. Рутьков, А.Я. Тонтегоде. Поверхность 5, 7 (1987)
  • В.Н. Агеев, Е.Ю. Афанасьева, Н.Р. Галль, С.Н. Михайлов, Е.В. Рутьков, А.Я. Тонтегоде. Письма в ЖТФ 12, 9, 565 (1986)
  • В.Н. Агеев, Е.Ю. Афанасьева. Поверхность 7, 30 (1987)
  • Е.Ю. Афанасьева, Н.Д. Потехина, С.М. Соловьев. ФТТ 37, 2, 463 (1995)
  • В.Н. Агеев, Е.Ю. Афанасьева, С.М. Соловьев, А.К. Григорьев. ФТТ 35, 2, 481 (1993)
  • N.R. Gall, E.V. Ryt'kov, A.Ya. Tontegode, M.M. Usufov. Phys. Low-Dim. Struct. 4/5, 75 (1996)
  • В.Н. Агеев, Е.Ю. Афанасьева. ФТТ 39, 8, 1484 (1997)
  • T.A. Nguyen Tau, V. Azizan, J. Derrien. Surf. Sci. 189/190, 339 (1987)
  • G.J. Campisi, A.J. Bevolo, H.R. Shanks, H.A. Schmidt. J. Appl. Phys. 53, 1714 (1982)
  • В.Н. Агеев, А.Ю. Потехин, Н.Д. Потехина. Поверхность 1, 31 (1987)
  • В.Н. Агеев, А.Ю. Потехин, Н.Д Потехина. Поверхность 1, 5 (1991)
  • M. Mavrikakis, J.M. Schwank, Y.L. Gland. Surf. Sci. 355, 385 (1996)
  • D.L. Adams. Surf. Sci. 42, 12 (1974)
  • V.P. Zhdanov. Elementary Physical Chemical Processes on Solids Surfaces. Plenum, N. Y. (1991)
  • P.A. Redhead. Vacuum 12, 2, 203 (1962)
  • Н.Д. Потехина. ФТТ (1999)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.