Издателям
Вышедшие номера
Влияние ультразвуковой обработки на подвижность коротких дислокаций в кристаллах кремния
Островский И.В.1, Стебленко Л.П.1, Надточий А.Б.1
1Киевский университет им. Т. Шевченко, Киев, Украина
Email: iostrov@genphys.ups.kiev.ua
Поступила в редакцию: 8 июля 1999 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 2000 г.

Изучено влияние ультразвуковой обработки на подвижность коротких приповерхностных дислокаций в кристаллах кремния. Обнаружено, что ультразвуковая обработка кристаллов кремния приводит к изменению скорости перемещения дислокаций при постоянной механической нагрузке. При этом характер изменения скорости дислокаций определяется знаком внешних напряжений, действующих на образец, --- сжимающие усилия приводят к уменьшению, а растягивающие --- к увеличению скорости дислокаций. После воздействия на образцы кремния ультразвуковых колебаний наблюдается уменьшение энергии активации движения дислокаций и усиление электропластического эффекта. Обсуждается возможный механизм наблюдаемых явлений.
  • H.F. Matare. Defects Electronics in Semiconductors. Wiley-Intersciens, N.Y.--London (1971). 474 p
  • Н. Маеда, К. Кимура, С. Такеути. Изв. АН СССР. Сер. физ. 51, 4, 729 (1987)
  • V.A. Makara, L.P. Steblenko, E.G. Robur. Solid State Phenomena 32--33, 619 (1993)
  • В.В. Лемешко, В.А. Макара, Л.П. Стебленко, В.В. Обуховский, Е.Г. Робур. ФТТ 36, 9, 2618 (1994)
  • Т. Судзуки, Х. Есинага, С. Такеути. Динамика дислокаций и пластичность. Мир, М. (1989). 294 с
  • I.V. Ostrovskii, O.A. Korotchenkov, T. Goto, H.G. Grimmeiss. Phys. Reports 311, 1, 1 (1999)
  • И.Б. Ермолович, В.В. Миленин, Р.В. Конакова, Л.Н. Применко, И.В. Прокопенко, В.Л. Громашевский. ФТП 31, 4, 503 (1997)
  • В.П. Алехин. Физика прочности и пластичности поверхностных слоев материалов. Наука, М. (1983). 280 с
  • Дж. Хирт, И. Лоте. Теория дислокаций. Атомиздат, М. (1972). 600 с
  • Б.В. Петухов. ФММ 56, 6, 1178 (1983)
  • И.В. Островский. Акустолюминесценция и дефекты кристаллов. Выща шк., Киев (1993). 229 с
  • О.А. Коротченков, А.Х. Рожко, А.М. Антонов, И.В. Островский. ФТТ 35, 8, 2244 (1993)
  • В.А. Макара, Л.П. Стебленко, М.Я. Горидько, Е.Г. Робур, Т.В. Волкова. УФЖ 42, 3, 328 (1997)
  • А.П. Здебский, М.И. Лисянский, Н.Б. Лукьянчиков, М.К. Шейнкман. Письма в ЖТФ 13, 16, 1009 (1987)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.