Структура объемных слоев GaN, выращенных методом газофазной эпитаксии на сапфировых (0001) подложках, была изучена посредством рентгеновской дифрактометрии и трансмиссионной электронной микроскопии. Обнаружено, что эти слои содержат прорастающие и винтовые дислокации. По мере удаления от интерфейса плотность дислокаций уменьшается. Выяснено влияние аморфного буферного слоя на формирование начального слоя GaN и в конечном результате на совершенство слоев нитрида галлия. Предлагается модель формирования прорастающих дислокаций и механизм релаксации напряжений несоответствия. Работа выполнена при поддержке РФФИ (грант N 97-02-18088).
T. Sasaki, S. Zembutsu. J. Appl. Phys. 61, 2533 (1987)
T.W. Weeks, jr., M.D. Bremser, K.S. Ailey, E. Carlson, W.G. Perry, R.F. Davis. Appl. Phys. Lett. 67, 401 (1995)
X.J. Ning, F.R. Chien, P. Pirouz, Y.W. Yang, M. Asif Khan. J. Mater. Res. 11, 580 (1996)
R. Molnar, W. Goetz, L.T. Romano, N.M. Johnson. J. Cryst. Growth 178, 147 (1997)
P. Vermaut, P. Ruternana, G. Nouct, A. Salvador, A. Botchkarev, B. Sverdlov, H. Morkoc. Inst. Phys. Conf. Ser. 146, 289 (1995)
W. Qian, M. Skowronski, M. De Graef, K. Doverspike, L.B. Rowland, D.K. Gaskill. Appl. Phys. Lett. 66, 1252 (1995)
F.A. Ponce. MRS Bulletin 23, 2, 51 (1997)
G. Jacob, M. Boulon, M. Futado. J. Cryst. Growth 42, 136 (1977)
T. Detchprohm, K. Hiramatsu, H. Amano, I. Akasaki. Appl. Phys. Lett. 61, 2688 (1992)
Y.V. Melnik, I.P. Nikitina, A.S. Zubrilov, A.A. Sitnikova, Y.G. Musikhin, V.A. Dmitriev. Inst. Phys. Conf. Ser. 142, 863 (1996)
L.T. Romano, B.S. Krusor, R.J. Molnar. Appl. Phys. Lett. 71, 2283 (1997)
V.V. Bel'kov, V.M. Botnaryuk, L.M. Fedorov, I.I. Diakonu, V.V. Krivolapchuk, M.P. Schrglov, Yu.V. Zhilyaev. In: Proc. MRS Fall Meeting. Boston, USA (1996). V. 449. P. 343
P.B. Hirsch, A. Howie, R.B. Nicholson, D.W. Pashley, M.J. Whelan. Electron Microscopy of Thin Crystal. Butterworths, London (1965). 599 p
J.W. Matthews. In: Epitaxial Growth. Part B. / Ed. by J.W. Matthews. Academic Press, N.Y. (1975). P. 560
J.P. Hirth, J.L. Dothe. Theory of Dislocations. John Weley \& Sons, N.Y. (1970). 574 p