Вышедшие номера
Радиационно-стимулированное формирование микрозондов сканирующих туннельных микроскопов
Мазилова Т.И.1
1Национальный научный центр "Харьковский физико-технический институт", Харьков, Украина
Поступила в редакцию: 21 апреля 1998 г.
Выставление онлайн: 20 января 2000 г.

Сообщаются результаты исследования процесса формирования вольфрамовых игольчатых микрозондов под действием ионной бомбардировки в сильных электрических полях и последующего низкотемпературного полевого испарения. Обнаружена немонотонность изменения скорости возрастания плотности тока в процессе облучения, связанная с наличием в составе потока бомбардирующих ионов тяжелых частиц материала эмиттера, образующихся в результате его распыления. Показано, что в процессе бомбардировки первоначально полусферическая рабочая часть зондов трансформируется в осесимметричную поверхность сложной конфигурации. Обсуждена связь наблюдавшихся эффектов с особенностями протекания процессов ионизации атомов инертных газов и распыления атомов вольфрама в сверхплотных электронных пучках. Микрозонды с атомногладкой поверхностью, формируемой в процессе ионной бомбардировки и полевого испарения, обнаруживали высокую стабильность и обеспечивали атомное разрешение на тест-объектах.
  1. Magonov S.N., Whangbo M.-H. Surface Analysis with STM and AFM. Berlin: Springer Verlag, 1996. 450 p
  2. Ksenofontov V.A., Mikhailovskii I.M., Shulaev V.M. et al. // Physics, Chemistry, and Application of Nanostructures / Ed. V.E. Boriseno et al. Minsk: Belarusian State University of Informatics and Radioelectronics, 1995. P. 244--245
  3. Libioulle L. // Rev. Sci. Inst. 1995. Vol. 66. N 1. P. 97--100
  4. Rohrer H. // Jap. J. Appl. Phys. 1993. Vol. 32. P. 1335--1340
  5. Kondo S., Heike S., Lutwyche M. et al. // Appl. Phys. 1995. Vol. 78. P. 155--165
  6. Березняк П.А., Слезов В.В. // РиЭ. 1972. Т. 17. N 2. С. 354--358
  7. Березняк П.А., Великодная О.А., Герасименко В.И. и др. // Вопросы атомной науки и техники. Сер. Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение. 1994. Вып. 1(61). С. 41--45
  8. Миллер М., Смит Г. Зондовый анализ в автоионной микроскопии. М.: Мир, 1993. 300 с. (Miller M.K., Smith G.D.W. Atom probe microanalysis: Principles and applications to materials problems. Oak Ridge National Lab., 1987.)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.