"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Пористый арсенид галлия с кластерами мышьяка
Бузынин Ю.Н.1, Гусев С.А.1, Дроздов Ю.Н.1, Мурель А.В.1
1Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 30 марта 1999 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2000 г.

Впервые показана возможность получения арсенида галлия с кластерами мышьяка при отжиге его пористых слоев, полученных методом электрохимического травления. Установлено, что кластеры сосредоточены в перегородках пористого слоя, их размер составляет 1-10 nm, а плотность достигает значения 4· 1018 cm-3. При отжиге в температурном интервале 400-600oC происходит улучшение структурного качества пористого слоя, а уменьшенный для него параметр решетки возрастает, приближаясь к значению, характерному для монокристалла. При использовании сильнолегированных подложек n-типа в поверхностном слое пористого слоя наблюдается инверсия типа проводимости, связанная с возникновением глубоких акцепторных центров. Термический отжиг приводит к сужению инверсного слоя и более однородному распределению электрически активных центров по толщине пористого слоя.
  • Берт Н.А., Вейнгер А.Н., Вилисова М.Д. и др. // ФТТ. 1993. Т. 35. Вып. 10. С. 2909--2925
  • Buzynin Yu., Gusev S., Drozdov Yu. et al. // ALT'95 Internat. Symp. SPIE. Vol. 2777. P. 43--52
  • Копман М.Е., Кузьминов Е.Г., Кулик В.Б. // Письма в ЖЭТФ. 1996. Т. 64. Вып. 10. С. 696--700
  • Ирин И.В., Мурель А.В. // ПТЭ. 1993. N 6. С. 150
  • Warren A.V., Woodal J.L. // Appl. Phys. Lett. 1990. Vol. 57. P. 1331
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.