Романенко А.А.1
1Институт прикладной оптики НАНБ, Могилев
Email: ipo@physics.belpak.mogilev.by
Поступила в редакцию: 26 января 2000 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2000 г.
Показано, что нанесение на высокопреломляющую подложку специально подобранной диэлектрической пленки существенно повышает чувствительность эллипсометрического метода исследования нанослоев. Представлено решение обратной задачи эллипсометрии.
Ulman A. Ultrathin organic films. New York, 1991. P. 547
Аззам P., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. М.: Мир, 1981. 583 c
Семененко А.И., Бобро В.В., Мардежов А.С. // Автометрия. 1998. N 1. С. 56--60
Jiond Y., Zhang S., Shao H. et al. // Appl. Opt. 1995. V. 34. N 1. P. 169--173
Адамсон П.Ф. // Оптика и спектроскопия. 1995. Т. 83. N 1. С. 169--171
Кособукин В.А. // Оптика и спектроскопия. 1985. Т. 59. В. 2. С. 370--376
Рожнов Г.В. // ЖЭТФ. 1993. Т. 103. В. 3. С. 740--757
Аверьянов В.А., Федоров В.А., Ястребов С.Г. // ЖТФ. 1994. Т. 64. В. 1. С. 103--117
Тихонов А.Н., Арсенин В.Я. Методы решения некорректных задач. М.: Наука, 1986. 285 с
Романенко А.А., Сотский А.Б. // ЖТФ. 1998. Т. 68. N 4. С. 88--95
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.