Модификация состава поверхности и спектра фотолюминесценции пористого кремния в процессе аргонно-кислородной ионно-плазменной обработки
Костишко Б.М.1, Дроздов А.В.1, Shibaev P.V.1, Костишко А.Е.1
1Ульяновский государственный университет Copenhagen University, Fruebjergvej 3, D, Copenhagen, Denmark
Поступила в редакцию: 22 мая 2000 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2000 г.
Представлены результаты исследований изменения состава поверхности и спектра фотолюминесценции пористого кремния после ионно-плазменного травления в аргонно-кислородной смеси. Показано, что подобная обработка приводит к пассивации поверхности квантовых нитей фтором и образованию оксида кремния. Источником атомов фтора выступают молекулы HF, оставшиеся в объеме пор после формирования системы пор. Увеличение концентрации фтора сопровождается возгоранием сине-зеленой и уширением красной полос фотолюминесценции пористого кремния.
- Cullis A.G., Canham L.T., Calcoft P.D.J. // J. Appl. Phys. 1997. V. 82. N 3. P. 909--965
- Tsai C., Li K.-H., Sarathy J. et al. // Appl. Phys. Lett. 1991. V. 59. P. 2814--2816
- Tsai C., Li K.-H., Kinosky D.S. et al. // Appl. Phys. Lett. 1992. V. 60. P. 1700--1702
- Canham L.T. // Appl. Phys. Lett. 1990. V. 57. P. 1046--1048
- Костишко Б.М., Орлов А.М., Миков С.Н. и др. // Неорган. материалы. 1995. Т. 31. N 4. С. 444--446
- Nakajima A., Itakura T., Watanabe S. et al. // Appl. Phys. Lett. 1991. V. 61. N 1. P. 46--48
- Yoshishiko K., Tetsuo O., Kenji Sh. et al. // Phys. Rev. B. 1993. V. 48. N 7. P. 4883--4886
- Кашкаров П.К., Константинова Е.А., Тимошенко В.Ю. // ФТП. 1996. Т. 30. В. 8. С. 1479--1490
- Sanders G.D., Yia-Chung Chang // Phys. Rev. B. 1992. V. 45. N 16. P. 9202--9213
- Корсунская Н.Е., Торчинский Т.В., Джумаев Б.Р. и др. // ФТП. 1996. Т. 30. В. 8. С. 1507--1515
- Компан М.Е., Шабанов И.Ю. // ФТП. 1995. Т. 2. В. 10. С. 1250--1260
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
