Электростатический механизм формирования волнового микрорельефа на поверхности полупроводника, распыляемого ионным пучком
Григорьев А.И.1
1Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова
Email: grig@uniar.ac.ru
Поступила в редакцию: 21 июня 2000 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2000 г.
Показано, что задача моделирования физического механизма формирования на поверхности полупроводника упорядоченного волнового микрорельефа под действием высокоэнергетичного ионного пучка может трактоваться как электростатическая
- Ахманов С.А., Емельянов В.И., Коротеев Н.И., Семиногов В.В. // УФН. 1985. Т. 147. В. 4. С. 675--746
- Дорофеев И.А., Либенсон М.Н. // ЖТФ. 1995. Т. 65. В. 10. С. 111--118
- Либенсон М.Н., Ширяев В.А. // ЖТФ. 2000. Т. 70. В. 3. С. 6--8
- Elst K., Vandervorst W. // J. Vac. Sci. Technol. 1994. V. A12. P. 3205--3216
- Smirnov V.K., Kibalov D.S. et al. // Nucl. Instr. and Meth. 1999. V. B147. P. 310--315
- Rudy A.S., Smirnov V.K. // Nucl. Instr. and Meth. 1999. V. B159. P. 52--59
- Белоножко Д.Ф., Григорьев А.И. // Письма в ЖТФ. 1999. Т. 25. В. 22. С. 1--6
- Белоножко Д.Ф., Григорьев А.И. // Письма в ЖТФ. 2000. Т. 26. В. 3. С. 80--85
- Григорьев А.И., Ширяева С.О., Коромыслов В.А., Белоножко Д.Ф. // ЖТФ. 1997. Т. 67. В. 8. С. 27--33
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук