"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Исследование порога абляции для аморфных алмазоподобных пленок под действием излучения ArF эксимерного лазера
Калитеевская Н.А.1, Коньков О.И.1, Теруков Е.И.1, Сейсян Р.П.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе, С.-Петербург
Поступила в редакцию: 13 июля 2000 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2000 г.

Эксперименты по исследованию порога абляции аморфных алмазоподобных пленок проводились с целью изучения возможности дальнейшего применения этого материала в качестве фоторезиста для литографии с использованием вакуумного ультрафиолетового излучения (ВУФ). Образцы аморфных алмазоподобных пленок толщиной h порядка 10 nm, выращенные на кремниевых подложках, подвергались воздействию импульсов ArF эксимерного лазера (длина волны излучения lambda=193 nm, длительность импульса tau=20 ns) различной интенсивности Ep. Установлено, что при интенсивности импульса меньшей, чем 20 mJ / cm2, скорость травления крайне мала. При увеличении интенсивности травление становится более эффективным, что связано с появлением термической составляющей абляции. При Ep=60 mJ / cm2 достаточно одного импульса для полного удаления пленки.
  • Бараш Е.Г., Кабин А.Ю., Любин В.М., Сейсян Р.П. // ЖТФ. 1992. Т. 62. В. 3. С. 106--113
  • Гладышева Л.Г., Калитеевская Н.А., Сейсян Р.П., Смирнов Д.В. // Письма в ЖТФ. 1996. Т. 22. В. 15. С. 91--94
  • Rothschild M., Ehrlich D.J. // J. Vac. Sci. Technol. B. V. 5. N. 1. P. 389--390
  • Коньков И.О., Трапезникова И.Н., Теруков Е.И. // ФТП. 1994. Т. 28. В. 8. С. 1406
  • Callegari A., Pomerene A.T., Hovel H.J, Babich E.B., Purushothaman S., Shaw J.M. // J. Vac. Sci. Technol. B. V. 11. N. 6. P. 2697--2699
  • Коньков И.О., Капитонов И.Н., Трапезникова И.Н., Теруков Е.И. // Письма в ЖТФ. 1997. Т. 23. В. 1. С. 3--8
  • Kon'kov O.I., Terukov E.I., Trapeznikova I.N. // Semiconductors. 1996. V. 30. N 12. P. 1138--1139
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.