Издателям
Вышедшие номера
Расчет теплового воздействия электронного зонда на образец нитрида галлия
Бакалейников Л.А.1, Галактионов Е.В.1, Третьяков В.В.1, Тропп Э.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: bakal@ammp.ioffe.rssi.ru
Поступила в редакцию: 3 августа 2000 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2001 г.

Исследованы стационарные температурные поля, возникающие при взаимодействии электронного зонда с образцом GaN. Для расчета плотности генерации тепла проведено моделирование процесса потери энергии электронами по методу Монте-Карло. Предложена аппроксимация формы области генерации тепла полуэллипсоидом. Для случая равномерной генерации тепла в объеме эллипсоида получено аналитическое решение задачи теплопроводности в элементарных функциях. Показано, что влияние формы области генерации на максимальную температуру перегрева и распределение поля температур мало. Аппроксимация плотности тепловых источников однородным распределением в полусфере с радиусом, равным полному пробегу электронов, приводит к значительной недооценке максимальной температуры перегрева. Предложено выражение для выбора характерного размера области генерации тепла в GaN, обеспечивающее 3% точность определения максимальной температуры перегрева в широком диапазоне энергий электронного пучка. Работа выполнена при частичной поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (грант N 98-02-18109).
  • R Castaing. Adv. in Electronics and Electron Physics. Acad. Press, N. Y. (1960). V. 13, P. 317
  • G.S. Almasi, J. Blair, R.E. Ogilvie, R.J. Schwartz. J. Appl. Phys. 36, 6, 1848 (1965)
  • C.F. Friskney, C.W. Haworth. J. Appl. Phys. 38, 9, 3796 (1967)
  • H. Amano, M. Kito, K. Hiromatsu, I. Akasaki. Jpn. J. Appl. Phys. 28, 12, L2112 (1989)
  • С.К. Обыден, Г.А. Перловский, Г.В. Сапарин, С.И. Попов. Изв. АН СССР. Сер. физ. 48, 12, 2374 (1984)
  • И.Г. Стоянова, Е.М. Белавцева. Изв. АН СССР. Сер. физ. 23, 6, 754 (1959)
  • И.Г. Стоянова, И.В. Анаскин. Физические основы методов просвечивающей электронной микроскопии. Наука, М. (1972)
  • В.Н. Королюк, Ю.Г. Лаврентьев. В кн.: Рентгеновский микроанализ с электронным зондом в минералогии. Наука, Л. (1980). С. 7
  • М.Н. Филиппов. Изв. РАН. Сер. физ. 57, 8, 165 (1993)
  • T.E. Everhart, P.H. Hoff. J. Appl. Phys. 42, 13, 5837 (1971)
  • Электронная база данных http://www.ioffe.rssi.ru/ES
  • T. Rao-Sahib, D.B. Wittry. J. Appl. Phys. 45, 11, 5060 (1974)
  • H.-J. Fitting, H. Glaefeke, W. Wild. Phys. Stat. Sol. (a) 43, 1, 185 (1977)
  • С.Г. Конников, В.А. Соловьев, В.Е. Уманский, В.М. Чистяков. ФТП 21, 11, 2028 (1987)
  • Н.Н. Лебедев, И.П. Скальская, Я.С. Уфлянд. Сборник задач по математической физике. М. (1955)
  • K. Kanaya, S. Okayama. J. Phys. D.: Appl. Phys. 5, 1, 43 (1972)
  • Растровая электронная микроскопия и рентгеновский анализ / Под ред. В.И. Петрова. Мир, М. (1984)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.