Издателям
Вышедшие номера
Рентгендифрактометрическое изучение влияния буфера на микроструктуру молекулярно-пучковой эпитаксии InN-слоев разной толщины
Ратников В.В.1, Мамутин В.В.1, Векшин В.А.1, Иванов С.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: mam@beam.ioffe.rssi.ru
Поступила в редакцию: 18 сентября 2000 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2001 г.

Тонкие слои InN выращивались методом молекулярно-пучковой эпитаксии на (0001) подложках сапфира. Методами двух- и трехкристальной рентгеновской дифрактометрии изучалось влияние тонкого (15 nm) InN --- буфера и его температурных обработок на структурное качество выращиваемых слоев. Найдено, что предварительный высокотемпературный (900oC) отжиг буфера приводит к резкому улучшению качества выращиваемых на нем слоев. При удалении от интерфейса (~ 1 mum) снижаается плотность как вертикальных винтовых (до 1.9· 108 cm-2), так и вертикальных краевых (до 1.3· 1011 cm-2) дислокаций. Работа проводились при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (проекты N 99-02-17103, 98-02-18309 и 00-02-16760).
  • S. Nakamura. Semicond. Sci. Technol. 14, 6, R27 (1999)
  • Q.-X. Guo, T. Yamamura, A. Yoshida, N. Itoh. J. Appl. Phys. 75, 10, 4927 (1994)
  • W.-K. Chen, Y.-Ch. Pan, H.-Ch. Lin, J. Ou, W.-H. Chen, M.-Ch. Lee. Jpn. J. Appl. Phys. 36, 12B, L 1625 (1997)
  • M.-Ch. Lee, H.-Ch. Lin, Y.-Ch. Pan, Ch.-K. Shu, J. Ou, W.-H. Chen, W.-K. Chen. Appl. Phys. Lett. 73, 18, 2606 (1998)
  • V.V. Mamutin, V.A. Vekshin, V.Yu. Davydov, V.V. Ratnikov, T.V. Shubina, S.V. Ivanov, P.S. Kopev, M. Karlsteen, U. Soderwall, M. Willander. Phys. Stat. Sol. (a) 176, 247 (1999)
  • В.В. Мамутин, В.Н. Жмерик, Т.В. Шубина, А.А. Торопов, А.В. Лебедев, В.А. Векшин, С.В. Иванов, П.С. Копьев. Письма в ЖТФ 24, 467 (1998)
  • J.E. Ayers. J. Crystal Growth 135, 71 (1994)
  • V. Srikant, J.S. Speck, D.R. Clarke. J. Appl. Phys. 82, 9, 4286 (1997)
  • R.N. Kyutt, T.S. Argunova. Nuovo Cimento D19, 267 (1997)
  • T. Metzger, R. Hopler, E. Born, O. Ambacher, M. Stutzmann, R. Stommer, M. Schuster, H. Gobel, S. Christiansen, M. Albrecht, H.P. Strunk. Phil. Mag. A77, 4, 1013 (1998)
  • K. Kobayashi, A.A. Yamaguchi, Sh. Kimura, H. Sunakawa, A. Kimura, A. Usui. Jpn. J. Appl. Phys. 38, 6A/B, L611 (1999)
  • C.O. Dunn, E.F. Koch. Acta metall. 5, 548 (1957)
  • Р.Н. Кютт, В.В. Ратников, Г.Н. Мосина, М.П. Щеглов. ФТТ 41, 1, 30 (1999)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.