Приведены результаты исследования процесса водного дотравливания пористого кремния во внешнем электрическом поле. Показано, что наложение электрического поля независимо от его ориентации и величины приводит к уменьшению скорости дотравливания. Обнаружено, что при ориентации вектора напряженности электрического поля от поверхности пористого слоя к объему образца происходит резкое изменение электродного потенциала в системе кремний--электролит, а при превышении E>6 kV/cm изменения становятся периодическими. Экспериментальные данные подтверждают существование циклического тока в системе монокремний--электролит--квантовые нити.
Smith R.L., Collins S.D. // J. Appl. Phys. 1992. Vol. 71. P. R1--R22
Canham L.T. // Appl. Phys. Lett. 1990. Vol. 57. P. 1046--1048
Кузнецов В.С., Проказников А.В. // Письма в ЖТФ. 1999. Т. 25. Вып. 6. С. 81--88
Компан М.Е., Шабанов И.Ю. // ФТП. 1995. Т. 29. С. 1859--1869
Beal M.I.J., Benjamin J.D., Uren M.J. et al. // J. Crystal Growth. 1985. Vol. 73. P. 622--635
Lemann V., Gusele U. // Appl. Phys. Lett. 1991. Vol. 58. P. 856--858
Memming R., Schwandt G. // Surf. Sci. 1966. Vol. 4. P. 109--124
Petrova E.A., Bogoslovskaya K.N., Balagurov L.A. et al. // Material Sci. \& Engin. B. 2000. Vol. 69--70. P. 152--155
Takagahara T., Takeda K. // Phys. Rev. B. 1992. Vol. 46. P. 15 578--15 581
Атажанов Ш.Р., Костишко Б.М., Горелик В.С. // Кристаллография. 1999. Т. 44. С. 551--554
Davis L.E., MacDonald N.C., Palmberg P.W. et al. Handbook of Auger Electron Spectroscopy. Minnesota: Phys. Electronics Industries Inc., 1976. 235 p
Zimin S.P. // Semiconductors. 2000. Vol. 34. P. 353--357
Шур М. Физика полупроводниковых приборов. М.: Мир, 1992. 279 с
Fossum J.G., Mertens R.P., Lee D.S. et al. // Sol. St. Electron. 1983. Vol. 26. P. 569--576
Tyagi M.S., Overstraaten R. // Sol. St. Electron. 1983. Vol. 26. P. 577--583
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2017 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук