"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Формирование развитой морфологии на поверхности фосфида индия при распылении ионными пучками аргона
Сошников И.П., Лунев А.В., Гаевский М.Э., Нестеров С.И., Кулагина М.М., Роткина Л.Г., Барченко В.Т., Калмыкова И.П., Ефимов А.А., Горбенко О.М.1
1Институт аналитического приборостроения РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: ipsosh@beam.ioffe.rssi.ru
Поступила в редакцию: 12 сентября 2000 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2001 г.

Проведены исследования самоорганизующихся поверхностных структур InP, образующихся при распылении монохроматичными пучками ионов аргона с энергией от 0.1 до 15 keV. Показано, что обработка аргоновыми пучками поверхности InP может приводить к образованию морфологий "грасс" или "конус в лунке". Для объяснения формирования рельефа предложена качественная модель, включающая процессы распыления, каскадного перемешивания и поверхностного транспорта. Предложенная модель предсказывает правильный характер зависимости плотности и размеров морфологических элементов от флюенса. Кроме того, модель позволяет объяснить возникновение граничных условий образования морфологий "грасс" и "конус/группа конусов в лунке", а также влияние на них (граничные условия) температуры мишени. Показано, что наличие границ областей травления может приводить к возникновению частичной анизотропии в структуре морфологии. В частности, применение регулярных полосчатых масок при травлении позволяет сформировать морфологию со структурой текстурного типа.
  • Joannopoulos J., Meade R., Winn J. // Photonic Crystals. Princeton University Press, 1995
  • Yablonovitch E. // J. Mod. Opt. 1994. Vol. 41. P. 173--178
  • Malherbe J.B. // Critical Reviews in Solid State and Materials Sciences. 1994. Vol. 19. N. 2/3. P. 55--196
  • Wada O. // J. Phys. D. 1984. Vol. 17. P. 2429--2434
  • Soshnikov I.P., Lunev A.V., Gaevski M.E. et al. // Proc. SPIE Symp. on Microlitograhy. 1997. Vol. 3048. P. 404--407
  • Сангвал К. // Травление кристаллов: теория, эксперимент, практика. М.: Мир., 1990
  • Soshnikov I.P., Lunev A.V., Kudryavtsev Yu.A., Bert N.A. // Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B. 1996. Vol. 59/60. P. 115--118
  • Сошников И.П., Берт Н.А. // ФТТ. 1993. Т. 35. Вып. 9. С. 2250--2508
  • Сошников И.П., Берт Н.А. // ЖТФ. 1996. Т. 66. Вып. 6. С. 84--89
  • Comas J., Cooper C.B. // J. Appl. Phys. 1967. Vol. 38. P. 2956--2963
  • Bhattacharya S.R., Ghose D., Basu D. / Nucl. Instrum Meth in Phys. Res. B. 1990. Vol. 47. P. 253--9
  • Барченко В.Т., Соколовский А. // Изв. ЛЭТИ. Л. ЛЭТИ. 1982. Вып. 303. С. 42--56
  • Landolt-B ornstein. Num. Data and Functional Relationships in Science and Technology. Soringer Verlag, 1982. Vol. 17e
  • Gorbenko O.M., Kurochkin D.V., Golubok A.O. // Proc. 1-=SUP=-st-=/SUP=- Intern. Conf. on Digital Signal Processing and its Application. Moscow, 1998. Vol. 3. P. 197--198
  • Carter G. // Erosion and Growth of Solids Simulated by Atom and Ion Beams. / Ed. G. Kirikidis, G. Garter, J.L. Whitton. Martinus Nijhof. Publ., 1986
  • Stepanova M.G. / Proc. 3-=SUP=-rd-=/SUP=- Intern. Conf. on Computer Semulation of Radiation Effects in Solids (COSIRES'96). Guildford (UK): Univ. of Surrey, 1996. Vol. 1. P. 85--91
  • Кукушкин С.А., Слезов В.В. // Дисперсные системы на поверхности твердых тел. СПб.: Наука, 1996
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.