"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Генерация и накопление дислокаций на поверхности кремния при воздействии импульсно-периодического излучения YAG : Nd лазера
Банишев А.Ф.1, Голубев В.С.1, Кремнев А.Ю.1
1Институт проблем лазерных и информационных технологий РАН, Шатура, Московская область, Россия
Поступила в редакцию: 26 сентября 2000 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2001 г.

Исследуется твердофазное разрушение поверхности кремния, связанное с генерацией и накоплением дислокаций при импульсно-периодическом воздействии излучения YAG : Nd лазера. Получены зависимости критического числа лазерных импульсов, приводящих к разрушению поверхности, от плотности мощности и периода следования. Приводится интерпретация полученных результатов с позиций механизмов лазерной генерации и накопления дислокаций в поверхностном слое полупроводников.
  • Вейко В.П., Метев С.М. Лазерные технологии в микроэлектронике. София: Изд-во Болгарской академии наук, 1991. 363 с
  • Карпов С.Ю., Ковальчук Ю.В., Погорельский Ю.В. // Итоги науки и техники. Сер. "Физические основы лазерной и пучковой технологии". 1988. Т. 1. С. 5--48
  • Бойко В.И., Лукьянчук Б.С., Царев Е.Р. // Труды ИОФАН. 1991. Т. 30. С. 6
  • Володин Б.Л., Емельянов В.И., Шлыков Ю.Г. // Квантовая электрон. 1993. Т. 20. N 1. С. 57
  • Emel'yanov V.I., Kashkarov P.K. // Appl. Phys. A. 1992. Vol. 55. P. 161
  • Вейко В.П., Имас Я.А., Либенсон М.Н. и др. // Изв. АН СССР. Сер. физ. 1985. Т. 49. N 6. С. 1236
  • Banishev A.F., Emel'yanov V.I., Novikov M.M. // Laser Physics. 1992. Vol. 2. N 2. P. 178
  • Луфт Б.Д., Перевозчиков В.А. и др. Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников / Под ред. Б.Д. Луфт. М.: Радио и связь, 1982. 136 с
  • Банишев А.Ф., Новикова Л.В. // Физика и химия обработки материалов. 1992. N 4. С. 55
  • Банишев А.Ф., Емельянов В.И., Володин Б.Л., Мерзляков К.С. // ФТТ. 1990. Т. 32. С. 2529
  • Демчук А.В., Данилович Н.И., Лабунов В.А. // Поверхность. Физика, химия, механика. 1985. Вып. 11. С. 26
  • Винценц С.В., Дмитриев С.Г., Шагимуратов О.Г. // ФТТ. 1996. Т. 38. Вып. 4. С. 993
  • Михнович В.В., Фирсова Т.В. // ФТП. 1990. Т. 24. Вып. 1. С. 181
  • Дж. Эшелби. Континуальная теория дислокаций. М.: ИЛ, 1963
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.