"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Регрессионная модель каскада смещенных атомов при ионном распылении твердого тела
Вольпяс В.А.1, Дымашевский П.М.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет, Санкт-Петербург, Россия
Email: thinfilm@eltech.ru
Поступила в редакцию: 18 октября 2000 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2001 г.

Разработана регрессионная модель каскада ионно-атомных столкновений при ионном распылении аморфных и поликристаллических материалов. Предложенная модель каскада смещенных атомов позволяет описывать упругие процессы рассеяния атомных частиц в твердом теле с применением различных межатомных потенциалов взаимодействия. На основе этой модели рассчитаны значения коэффициентов распыления материалов в порядковыми номерами Za=22...79 и скорости ионного распыления ряда многокомпонентных материалов. Сравнение результатов статистического моделирования в рамках разработанной модели с экспериментальными данными по распылению аморфных и поликристаллических материалов показало, что предложенная модель каскада ионно-атомных столкновений и каскада смещенных атомов достаточно корректно в пределах статистического разброса экспериментальных данных описывает процессы ионного распыления.
  • Распыление твердых тел ионной бомбардировкой / Под ред. Р. Бериша. М.: Мир, 1984, 1986. Т. 1, 2
  • Sigmund P. // Phys. Rev. 1969. Vol. 184. P. 383
  • Abrahamson A.A. // Phys. Rev. 1969. Vol. 178. N 3. P. 76--79
  • Gaydaenko V.I., Nikulin V.K. // Chem. Phys. Lett. 1970. Vol. 7. P. 360--362
  • Petrov P.K., Volpyas V.A., Hollmann E.K. et al. // Vacuum. 1997. Vol. 48. N 7--9. P. 669--670
  • Volpyas V.A., Hollmann E.K., Plotkin D.A., Goldrin V.I. // Vacuum. 1998. Vol. 51. N 2. P. 227--230
  • Вольпяс В.А., Гольман Е.К., Цукерман М.А. // ЖТФ. 1996. Т. 66. Вып. 4. С. 16--23
  • Вольпяс В.А., Козырев А.Б. Физика слабоионизованной плазмы (монография). СПб.: Складень, 1997. 130 с. ( Volpyas V.A., Kozyrev A.B. Physics of Weakly-ionized Plasma (monograph). St.Petersburg: Skladen publishing, 1997. 130 p.)
  • Petrov P.K., Volpyas V.A., Chakalov R.A. // Vacuum. 1999. Vol. 52. P. 427--434
  • Вольпяс В.А., Гольман Е.К. // ЖТФ. 2000. Т. 70. Вып. 3. С. 13--18
  • Yamamura Y., Matsunami N, Iton N. // Rad. Eff. 1983. Vol. 71. P. 65
  • Volpyas V.A., Hollmann E.K., Goldrin V.I. // Abstracts 10-=SUP=-th-=/SUP=- Intern. School on Vacuun, Electron and Ion Technologies. Varna (Bulgaria), 1997. P. 18
  • Pivovarov A.L., Chenakin S.P. et al. // Surface: Physics, Chemistry, Mechanics. 1989. Vol. 35. N 11. P. 31
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.