Некоторые особенности ионного перемешивания при одновременной ионной имплантации и осаждении покрытий из металлов
Погребняк А.Д.1, Мартыненко В.А.1, Михалев А.Д.1, Шабля В.Т.1, Яновский В.П.1
1Сумский институт модификации поверхности, Сумы, Украина
Поступила в редакцию: 20 июня 2000 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2001 г.
Представлены результаты по ионной имплантации ионов Ta, Cu в подложку из Al при одновременном осаждении этих ионов в виде покрытия. Обнаружено сложное строение этих покрытий из данных элементов в подложке, а также увеличение микротвердости, адгезии и повышения коррозийной стойкости. На основе результатов энергетического распределения вторичных ионов (EDSI) показано, что в поверхностном слое подложки образуются интерметаллические фазы.
- Аксенов А.И., Бугаев С.П., Панковец Н.Т., Толопа А.М. // ПТЭ. 1987. N 3. С. 139--140
- Pogrebnjak A.D., Tolopa A.M. // Nucl. Instrum. and Meth. 1990. B 52. P. 25--43
- Pogrebnjak A.D., Kobzev A.P., Gritsenko B.P. et al. // Jour. of Appl. Phys. 2000. V. 87. N 3. P. 2142--2148
- Pogrebnjak A.D., Bakharev O.G., Pogrebnjak N.A. et al. // Phys. Lett. 2000. A 265. P. 225--231
- Косицин Л.Г., Никитенков Н.Н., Пучкарева Л.Н., Яновский В.П. Ядерно-физические методы анализа и их применение для анализа состава вещества. М.: Атомиздат, 1983. С. 67
- Кожевников А.В., Кравцов В.И., Пирогов В.А. // ПТЭ. 1986. N 3. С. 67--69
- Никитенков Н.Н. Автореф. дис. на соис. учен. степ. к.ф.-м.н. Томск, 1987. С. 18
- Быковский Ю.А., Неволин В.Н., Фоминский В.А. Ионная и лазерная имплантация металлических материалов. М.: Энергоатомиздат, 1991. 198 с
- Didenko A.N., Ligachov A.E., Pogrebnjak A.D. // Nucl. Instrum and Meth. 1986. B 17. P. 165--169
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
