"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Новый метод определения резкости гетеропереходов InGaAs/GaAs при послойном Оже-анализе
Дроздов М.Н.1, Данильцев В.М.1, Дроздов Ю.Н.1, Хрыкин О.И.1, Шашкин В.И.1
1Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород
Email: drm@ipm.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 3 мая 2001 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2001 г.

Впервые обнаружено, что явление ионно-стимулированной сегрегации индия может быть использовано для повышения разрешения по глубине при послойном Оже-анализе гетероструктур InxGa1-xAs/GaAs. Показано, что посредством варьирования энергии распыляющего ионного пучка Ar+ 1 keV-> 0.5 keV в области гетероперехода GaAs/InGaAs можно оценить резкость гетероперехода с разрешением порядка 0.5 nm, определяемым разностью длин проективных пробегов ионов Ar+ с энергиями 1 и 0.5 keV и не связанным с глубиной выхода Оже-электронов.
  • Hofmann S. // Rep. Prog. Phys. 1998. V. 61. P. 827--888
  • Hofmann S. // J. Vac. Sci. Technol. 1991. V. A9. N 3. P. 1466--1476
  • Lam N.Q. // Surf. Interface Anal. 1988. V. 12. N 1. P. 65--77
  • Kelly R. // Surf. Interface Anal. 1985. V. 7. N 1. P. 1--7
  • Betz G., Wehner G.K. // Topics in Applied Physics. V. 52 / Sputtering by Particle Bombardment II / Ed. by R. Behrisch. Berlin: Springer-Verlag, 1983. Chap. 2 (Пер.: Распыление твердых тел ионной бомбардировкой / Под ред. Р. Бериша. М.: Мир, 1986. 484 с.)
  • Malherbe J.B. // Crit. Rev. Solid State Mater. Sci. 1994. V. 19. N 3. P. 129--196
  • Koncol A., Sulyok A., Menyhard M., Barna A. // J. Vac. Sci. Technol. 1994. V. A12. N 2. P. 436--442
  • Menyhard M., Barna A., Biersack J.P., Jarrendahl K., Sundgren J.-E. // J. Vac. Sci. Technol. 1995. V. A13. N 4. P. 1999--2004
  • Дроздов М.Н., Данильцев В.М., Дроздов Ю.Н., Мастеров Д.В., Хрыкин О.И., Шашкин В.И. // Письма в ЖТФ. 1996. Т. 22. В. 4. С. 61--66
  • Дроздов М.Н., Данильцев В.М., Салащенко Н.Н., Полушкин Н.И., Хрыкин О.И., Шашкин В.И. // Письма в ЖТФ. 1995. Т. 21. В. 18. С. 1--7
  • Wittmaack K. // Vacuum. 1984. V. 34. N 1--2. P. 119--137
  • Hofmann S. // Surf. Interface Anal. 1994. V. 21. P. 673--678
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.