"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Расчет градиента температуры в зоне раствора--расплава при электрожидкостной эпитаксии твердых растворов на основе карбида кремния
Билалов Б.А.1, Сафаралиев Г.К.1, Идаятов Э.И.1, Кардашова Г.Д.1
1Дагестанский государственный университет, Махачкала
Email: dgu@dgu.ru
Поступила в редакцию: 2 апреля 2001 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2001 г.

Проводится анализ распределения температуры в ростовой ячейке, а также градиента температуры в зоне раствора-расплава иттербий--галлий, иттербий--алюминий при выращивании эпитаксиальных слоев твердых растворов на основе карбида кремния методом электрожидкостной эпитаксии с учетом влияния геометрических параметров ростовой ячейки. Решены стационарные уравнения теплопроводности для всех пяти областей стандартной ростовой ячейки. При этом учтены: джоулевый разогрев; Пельтье-разогрев (охлаждение) поверхностей разделов электрод--источник (подложка)--жидкая зона, контактное тепло, выделяющееся на поверхностях разделов электрод--источник (подложка), теплота растворения и теплота кристаллизации. Получены зависимости градиента температуры nabla T в жидкой зоне от плотности тока и от геометрических размеров областей ростовой ячейки.
  • Демин В.Н., Буждан Я.М., Кузнецов Ф.А. // Электроперенос и его приложения. Новосибирск, 1982. С. 75--79
  • Сафаралиев Г.К., Билалов Б.А., Эфендиев А.З. // ЖТФ. 1984. Т. 54. В. 10. С. 2016--2020
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.