"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Начальные стадии роста GaN на оксидированном кремнии
Бессолов В.Н.1, Жиляев Ю.В.1, Коненкова Е.В.1, Кукушкин С.А.1, Лукьянов А.В.1, Раевский С.Д.1, Федирко В.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, С.-Петербург Институт проблем машиноведения РАН, С.-Петербург Фонд поддержки науки и образования, С.-Петербург Московский государственный технологический университет "Станкин"
Поступила в редакцию: 25 июля 2001 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2001 г.

Методом атомно-силовой микроскопии изучались начальные стадии роста GaN слоя на оксидированной кремниевой подложке. Рост осуществлялся методом HVPE при температуре 520oC. Установлено: a) рост островков GaN контролируется поверхностной диффузией; б) распределение зародышей по размерам на поверхности существенно меняется при изменении времени роста от 10 до 200 минут, средний размер увеличивается от 15 до 400 nm, а разброс по размерам возрастает в 20 раз. Показано, что экспериментально определенная скорость роста зародышей и функция распределения их по размерам находятся в хорошем согласии с теорией роста GaN на начальных стадиях.
  • Maruska H.P., Tietjen J.J. // Appl. Phys. Lett. 1969. V. 15. P. 327
  • Amano H., Sawaki N., Akasaki I., Toyoda Y. // Appl. Phys. Lett. 1986. V. 48. P. 353
  • Nakamura S., Senoh M., Nagahama S., Iwasa N., Ymada T., Matsushita T., Kiyoku H., Sugimoto Y., Kozaki T., Umemoto H., Sano M., Chocho K. // Appl. Phys. Lett. 1998. V. 73. P. 832
  • Tavernier P.R., Etzkon E.V., Wang Y., Clarke D.R. // Appl. Phys. Lett. 2000. V. 77. P. 1804
  • Cheung S.H., Zheng L.X., Xie M.H., Tong S.Y. // Phys. Rev. 2001. B. 64
  • Yamada K., Asahi H., Tampo H., Imanishi Y., Ohnishi K., Asami K. // Appl. Phys. Lett. 2000. V. 78. P. 2849
  • Norejka A.J., Ing D.W. // J. Appl. Phys. 1968. V. 39. P. 5578
  • Bauer I., Biste L., Bolze D. // Phys. Status Sol. 1977. V. 39a. P. 173
  • Ефимов А.Н., Лебедев А.О., Царегородцев А.М. // Письма в ЖТФ. 1998. Т. 24. С. 52
  • Кукушкин С.А., Бессолов В.Н., Осипов А.В., Лукьянов А.В. // ФТТ (в печати)
  • Кукушкин С.А., Слезов В.В. Дисперсные системы на поверхности твердых тел. С.-Петербург: Наука, 1996. 304 с
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.