Возможность уменьшения сферической и хроматической аберраций в плоских комбинированных осесимметричных магнитоэлектростатических линзах
Жуков В.А.1, Воробьев Ю.В.1, Нестеров М.М.1
1С.-Петербургский институт информатики и автоматизации РАН
Email: v-zhukov@cards.lanck.net
Поступила в редакцию: 11 мая 2001 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2001 г.
Продемонстрирована возможность снижения в 6 раз коэффициентов как сферической, так и хроматической аберраций в плоских комбинированных осесимметричных линзах по сравнению с чисто магнитными линзами при надлежащем выборе соотношения геометрических размеров электродов и полюсных наконечников комбинированной линзы, электрических потенциалов на ее электродах и ампер-витков в катушке возбуждения.
- Scherzer O. // Optik. 1947. V. 2. P. 114--132
- Szilgui M. Electron and Ion Optics. New York: Plenum Press, 1988. 639 p
- Щетнев Ю.Ф. // Труды ГОИ. Ленинград, 1982. Т. 58. В. 192. Кн. 1. С. 42--52
- Froisen J., Plies E., Auger K. // J. Vac. Sci. Technol. B. 1989. V. 7. P. 1874
- Beck S., Plies E., Schiebel B. // Nucl. Instr. \& Meth. in Phys. Res. A. 1995. V. 363. P. 31--42
- Жуков В.А., Завьялова А.В., Воробьев Ю.В., Гелевер В.Д. // Тезисы докладов XVIII РКЭМ. Черноголовка, 2000. С. 111
- Глазер В. Основы электронной оптики. М.: ГИТТЛ, 1957. 764 с
- Жуков В.А., Котликов Е.Н., Гелевер В.Д. // ЖТФ. 1999. Т. 69. В. 8. С. 133--134
- Жуков В.А., Гелевер В.Д., Завьялова А.В., Воробьев Ю.В. // Изв. РАН. Сер. физ. 2000. Т. 64. N 8. С. 1584--1588
- Gross G., Kaesmaier R., Loschner H. et al. // J. Vac. Sci. Technol. B. 1998. V. 16. P. 3150--3153
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
