Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2002, выпуск 4 » Статья стр. 88
<<<>>>
Влияние высоких доз имплантации и плотности ионного тока на свойства пленок полиимида
Попок В.Н., Азарко И.И., Хайбуллин Р.И.
Поступила в редакцию: 17 сентября 2001 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2002 г.
PDF версия
Тонкие пленки полиимида были имплантированы ионами Ar+ и Ar2+ с энергиями 40 и 80 keV соответственно в широком интервале доз 2.5· 1014-1.5· 1017 cm-2 и плотностей ионного тока 1-16 muA/cm2. Изучено влияние режимов ионной имплантации на электрические, парамагнитные и оптические характеристики приповерхностного слоя полимера, модифицированного ионным облучением. Показано, что эффект радиационно-стимулированного термолиза полиимида и особенности его химического строения обусловливают монотонный рост электропроводности облученного слоя с увеличением плотности ионного тока при заданной дозе имплантации. Напротив, при неизменной плотности ионного тока с увеличением дозы имплантации наблюдается скачкообразный характер роста электропроводности, а также снижение концентрации парамагнитных центров и оптического пропускания модифицированного слоя полиимида. Наблюдаемые зависимости электрофизических характеристик полимера от дозы имплантации и плотности тока интерпретируются в рамках модели структурной перестройки карбонизированной фазы полимера, формируемой в условиях ионного облучения.
  1. The 2000 Nobel Prize in Chemistry (for the Discovery and Development of Conductive Polymers). Press Release. www.nobel.se/chemistry/laureates/2000/press.html
  2. Chiang C.K., Fisher C.R., Park Y.W. et al. // Phys. Rev. Let. 1977. Vol. 39. N 17. P. 1098--1101
  3. Venkatesan T., Calcagno L., Elman B.S. et al. // Ion Beam Modification of Insulators / Ed. P. Mazzoldi, G.W. Arnold. Amsterdam: Elsevier, 1987. P. 301--379
  4. Marletta G., Iacona F. // Materials and Processes for Surface and Interface Engineering / Ed. Y. Pauleau. Dordrecht: Kluwer Acad. Publ., 1995. P. 597--640
  5. Gied R.E., Moss M.G., Kaufmann J. et al. // Electrical and Optical Polymer Systems / Ed. D.L. Wise, G.E. Wnek, D.J. Trantolo et al. New Yokr: Marcel Dekker, 1998. P. 1011--1030
  6. Попок В.Н. // Поверхность. 1998. Вып. 6. С. 103--118
  7. Lee E.H. // Nucl. Instr. and Meth. B. 1999. Vol. 151. P. 29--41
  8. Оджаев В.Б., Козлов И.П., Попок В.Н. и др. Ионная имплантация полимеров. Минск: БГУ, 1998. 197 с
  9. Iwaki M. // Nucl. Instr. and Meth. B. 2001. Vol. 175--177. P. 368--374
  10. Алешин А.Н., Грибанов А.В., Добродумов А.В. и др. // ФТТ. 1989. Т. 31. Вып. 1. С. 12--18
  11. De Bonis A., Bearzotti A., Marletta G. // Nucl. Instr. and Meth. B. 1999. Vol. 151. P. 101--108
  12. Feger C., Khojasteh M.M., McGrath J.E. Polyimides, Chemistry and Characterization. Amsterdam: Elsevier, 1989
  13. Вертц Дж., Болтон Дж. Теория и практические приложения метода ЭПР. М.: Мир, 1975. 548 с
  14. Ziegler J.F. The Sopping and Range of Ions in Matter (SRIM-2000). www.research.ibm.com/ionbeams
  15. Popok V.N., Azarko I.I., Khaibullin R.I. et al. // Appl. Phys. A. In Press
  16. Davenas J., Xu X.L., Boiteux G. et al. // Nucl. Instr. and Meth. B. 1989. Vol. 39. P. 754--763
  17. Magee J.L., Chattejee A. // J. Phys. Chem. 1980. Vol. 84. P. 3529--3536
  18. Fink D., Ibel K., Goppelt P. et al. // Nucl. Instr. and Meth. B. 1990. Vol. 46. P. 342--346
  19. Rao G.R., Wang Z.L., Lee E.H. // J. Mater. Res. 1993. Vol. 8. P. 927--933
  20. Козлов И.П., Оджаев В.Б., Карпович И.А. и др. // ЖПС. 1998. Т. 65. Вып. 3. С. 377--381
  21. Козлов И.П., Оджаев В.Б., Попок В.Н. и др. // ЖПС. 1998. Т. 65. Вып. 4. С. 562--567
  22. Popok V.N., Karpovich I.A., Odzhaev V.B. et al. // Nucl. Instr. and Meth. B. 1999. Vol. 48. P. 1106--1110
  23. Miotello A., Kelly R. // Nucl. Instr. and Meth. B. 1997. Vol. 122. P. 458--469
  24. De Cicco H., Saint-Martin G., Alurralde M. et al. // Nucl. Instr. and Meth. B. 2001. Vol. 173. P. 455--462
  25. v Svorv cik V., Endrv st R., Rybka V. et al. // Eur. Polym. J. 1995. Vol. 31. N 2. P. 189--191
  26. Hu C.Z., De Vris K.L., Andrade J.D. // Polymer. 1987. Vol. 28. P. 663--667

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme