"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Импульсы частиц, эмитированных мишенью при интенсивном облучении низкоэнергетичными ионами
Бешенков В.Г.1, Григорьев А.Б.1, Марченко В.А.
1Институт проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов РАН, Черноголовка, Московская обл., Россия
Поступила в редакцию: 30 июля 2001 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2002 г.

Измерены суммарные импульсы частиц, эмитированных мишенью при интенсивном распылении ионами тяжелых инертных газов с энергией E0~ 0.5 keV. Для жидкой и находящейся при предплавильной температуре мишени из Ga измеренные значения близки к ожидаемым импульсам распыленных металлических атомов и отраженных ионов, для мишеней из Cu и Zr они заметно больше. Выдвинуто предположение, что причина избыточного импульса --- распыление имплантируемых в мишень атомов газа-распылителя. Оценочная средняя энергия этих атомов < E>~ 20 eV. При облучении Ga имплантированные атомы преимущественно диффундируют к поверхности и десорбируются.
  • Stuart R.V., Wehner G.K. // J. Appl. Phys. 1964. Vol. 35. P. 1819--1824
  • Stuart R.V., Wehner G.K., Anderson G.S. // J. Appl. Phys. 1969. Vol. 40. P. 803--812
  • Brizzolara R.A., Cooper C.B., Olson T.K. // Nucl. Instr. Meth. 1988. Vol. B35. P. 36--42
  • Okabe Y., Sasao M., Wada M. et al. // Jap. J. Appl. Phys. 1991. Vol. 30. N 8A. P. L1428--L1431
  • Mousel T., Eckstein W., Gnaser H. // Nucl. Instr. Meth. in Phys. Res. B. 1999. Vol. 152. P. 36--48
  • Арифов У.А. Взаимодействие атомных частиц с поверхностью твердого тела. М.: Наука, 1968. 370 с
  • Евстигнеев В.В., Иванов И.В., Крылов Н.М. и др. // Поверхность. Физика, химия, механика. 1993. N 3. C. 35--41
  • Yamamura Y., Kenmotsu T., Yorizane K. et al. // Progress in Computer Simulation for Ion-solid Interaction. Ion Implantation Technology-98 / Ed. J. Matsuo, G. Takaoka, I. Yamaida. Proc. Intern. Conf. on Ion Implantation Technology. Kyoto, 1998. P. 672--677
  • Coufal H., Winter H.F., Bay H.L. // Phys. Rev. B. 1991. Vol. 44. N 10. P. 4747--4758
  • Bay H.L., Winter H.F., Coufal H. et al. // Appl. Phys. A. 1992. Vol. 55. P. 274--278
  • Распыление твердых тел ионной бомбардировкой / Под ред. Р. Бериша. Вып. II. Гл. 7. М.: Мир, 1986. 484 с
  • Райзер Ю.П. Физика газового разряда. М.: Наука, 1987. 592 с
  • Григорьев А.Б., Марченко В.А. // ПТЭ. 1999. N 5. C. 146--147
  • Robinson R.S. // J. Vac. Sci. Technol. 1979. Vol. 16. N 2. P. 185--188
  • Борисов С.Ф., Балахонов Н.Ф., Губанов В.А. Взаимодействие газов с поверхностью твердых тел. М.: Наука, 1988. 200 с
  • Whitton J.L. // Erosion and Growth of Solids Stimulated by Atom and Ion Beams / Ed. G. Kiriakidis, G. Garter, J.L. Whitton. Dordrecht: Martinus Nijhoff Publ., 1986 (Фундаментальные и прикладные аспекты распыления твердых тел. Сб. ст. М.: Мир, 1989. Гл. 5)
  • Додонов А.И., Крылова Е.А., Машкова Е.С. и др. // Поверхность. 1988. N 6. C. 133
  • Экштайн В. Компьютерное моделирование взаимодействия частиц с поверхностью твердого тела. Пер. с англ. М.: Мир, 1995
  • Ziegler J.F., Biersack J.P., Littmark V. The Stopping and Range of Ions in Solids. New York: Pergamon Press, 1985
  • Kay E., Parmigiani F., Parrish W. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1987. Vol. 5. N 1. P. 44--51
  • Знаменский А.Г., Марченко В.А. // ЖТФ. 1998. Т. 68. Вып. 7. С. 24--32
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.