"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Особенности переноса распыленных атомов при нанесении пленок Ta2O5 на подложки сложной пространственной конфигурации
Быстров Ю.А.1, Ласка В.Л.1, Вольпяс В.А.1, Говако Е.А.1, Тимофеев Д.Е.1, Трошков В.В.1
1С.-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ"
Email: thinfilm@eltech.ru
Поступила в редакцию: 16 октября 2001 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2002 г.

Рассмотрена возможность обеспечения равномерных свойств пленок Ta2O5 на поверхности подложек, имеющих сложную форму. Если при использовании точечных источников парового потока, работающих в молекулярном режиме разлета частиц, эта задача решается путем применения всевозможных планетарных манипуляторов, осуществляющих сложные перемещения подложек в вакуумной технологической камере, то использование магнетронного распыления позволяет реализовать более технологичный процесс, связанный с регулированием режима транспорта распыленных частиц в пространстве дрейфа мишень-подложка. Для описания процесса переноса распыленных частиц использованы различные расчетные модели и методы статического моделирования, представляющие интерес для многих прикладных задач физики плазмы газового разряда. Полученные результаты положены в основу оптимизации технологических процессов нанесения пленочных покрытий Ta2O5 на протяженные подложки сложной пространственной конфигурации.
  • Хомутов В.П., Ласка В.Л. // Петербургский журнал электроники. 1997. Вып. 2. С. 3--8
  • Лечение больных с непереносимостью акрилатов методом изоляции протезов тонкими вакуумными пленками окиси тантала / А.В. Цимбалистов, Ю.А. Быстров, В.Л. Ласка и др. // Труды VI съезда Стоматологической ассоциации России. Москва, 11--14 сент. 2000. С. 285--287
  • Ласка В.Л., Митрофанов А.П., Карманенко С.Ф. // Электронная техника. Сер. Электровакуумные и газоразрядные приборы. 1985. В. 1 (106). 101 с
  • Вольпяс В.А., Гольман Е.К. // ЖТФ. 2000. Т. 70. В. 3. С. 13--18
  • Вольпяс В.А., Гольман Е.К., Цукерман М.А. // ЖТФ. 1996. Т. 66. В. 4. С. 16--23
  • Вольпяс В.А., Козырев А.Б. Физика слабоионизованной плазмы (прикладные вопросы ионно-плазменного распыления). СПб: ТОО "Складень", 1997
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.