"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Фотоабляция тонких пленок оксида индия под действием импульсного излучения ArF эксимерного лазера
Калитеевская Н.А.1, Сейсян Р.П.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 29 марта 2001 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2002 г.

Исследования порога абляции пленок оксида In2O3 проводились с целью изучения возможности дальнейшего применения этого материала в качестве фоторезиста для литографии с использованием вакуумного ультрафиолетового излучения (ВУФ). Пленки In2O3 толщиной порядка 30 nm, полученные путем электрон-катодного распыления индия на кварцевые подложки в разреженной кислородосодержащей атмосфере, подвергались воздействию импульсов ArF эксимерного лазера (длина волны излучения lambda=193 nm, длительность импульса tau=20 ns) различной интенсивности Ep. Установлено, что при интенсивности импульса, меньшей чем 30 mJ/cm2, скорость травления исчезающе мала. При увеличении интенсивности травление становится более эффективным, что связано с появлением термической составляющей абляции.
  • Hamberg I., Granqvist C.G. // J. Appl. Phys. 1986. V. 60. P. 123
  • Badway W.A., Afifand H.H., Elgar E.M. // J. Electrochem. Soc. 1990. V. 137. P. 1592
  • Chopre K.L., Major S., Pandya D.K. // Thin Solid Films. 1983. V. 102. P. 1
  • Manifacier J.C. Thin Solid Films. 1982. V. 90 (3). P. 297--308
  • Younggun Han, Donghwan Kim, Jun-Sik Cho, Seok-Keun Koh, Yo Seung Song // Solar Energy Material and Solar Cells. 2000. V. 65. P. 211--218
  • Sueva D., Georgiev S.S., Nedev N., Toneva A., Chuikov N. // Vacuum. 2000. V. 58. N 2, 3. P. 308--314
  • James H. Brannon // J. Vac. Sci. Technol. B. 1989. V. 7. N 5. P. 1064--1071
  • Бараш Е.Г., Кабин А.Ю., Любин В.М., Сейсян Р.П. // ЖТФ. 1994. Т. 62. В. 3. С. 106--113
  • Калитеевская Н.А., Сейсян Р.П. // Письма в ЖТФ. 2000. Т. 26. В. 23. С. 11--15
  • Moreau W.M. Semiconductor Lithography: Principles, Practices, and Materials. New York and London: Plenum Press, 1988
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.