"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Пленки нанокристаллического кремния, полученные методом микроволнового плазмохимического газофазного осаждения в условиях имульсной модуляции мощности разряда
Певцов А.Б.1, Феоктистов Н.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 2 ноября 2001 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2002 г.

Предложено использовать метод импульсной модуляции мощности микроволнового плазменного разряда для роста пленок нанокристаллического кремния из силано-водородной газовой смеси. Применение этого метода позволило увеличить скорость роста нанокристаллических пленок кремния до 3 Angstrem/s, что в 4--6 раз превышает скорости роста таких пленок при стандартном плазмохимическом газофазном осаждении.
  • Brus L. // Appl. Phus. 1991. V. A53. N 6. P. 465
  • Weisbuch C. // Optoelectronics-Devices and Technologies. 1993. V. 8. N 4. P. 523
  • Hamasaki T., Kurata H., Hirose M., Osaka Y. // J. Appl. Phys. Lett. 1980. V. 37. N 12. P. 1084
  • Voutsas A.T., Hatalis M.K., Boyce J., Chiang A. // J. Appl. Phys. 1995. V. 78. P. 6999
  • Yin Ch., Liu X., He Y. // J. Appl. Phys. 1994. V. 75. P. 797
  • Iqbal Z., Veprek S. // J. Phys. C; Solid State Phys. 1982. V. 15. P. 377
  • Otobe M., Oda S. // Jpn. J. Appl. Phys. 1992. V. 31 (1). P. 1948
  • Parsons G.N., Boland J.J., Tsang J.C. // Jpn. J. Appl. Phys. 1992. V. 31 (1). P. 1943
  • Koynov S., Schwarz R., Fisher T., Grebner S., Munder H. // Jpn. J. Appl. Phys. 1994. V. 33 (1). P. 4534
  • Roca P., Cabarrocas I. // Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 1998. V. 507. P. 855
  • Itagaki N., Fukuda A., Yoshizawa T., Shindo M., Ueda Y., Kawai Y. // Surface \& coating technology. 2000. V. 131. P. 54
  • Голубев В.Г., Давыдов В.Ю., Медведев А.В., Певцов А.Б., Феоктистов Н.А. // ФТТ. 1997. V39. P. 1348
  • Aspnes D.E. // Thin Solid Films. 1982. V. 89. P. 249.
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.