Влияние фрактально-матричных резонаторов на свойства получаемых тонких пленок меди
Серов И.Н., Бельская Г.Н., Марголин В.И., Потсар Н.А.
Email: vlad@margolin.etu.spb.ru
Поступила в редакцию: 22 июля 2002 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2002 г.
Исследовано воздействие фрактально-матричных резонаторов "Айрес", расположенных вне зоны контакта с областью газового разряда, на структуру получаемых методом магнетронного ионного напыления тонких субмикронных пленок меди. Применение этой методики позволяет получить субмикронные по толщине пленки с локальными участками, представляющими собой самоорганизованные по фрактальному принципу структуры.
- Николис Г., Пригожин И. Самоорганизация в неравновесных системах. М.: Мир, 1979. 512 с
- Хмелевская В.С. // Соросовский образовательный журнал. 2000. Т. 6. N 6. С. 85--91
- Бердоносов С.С. // Соросовский образовательный журнал. 2001. N 1. С. 32--38
- Перегудов В.Н., Пашаев Э.М., Якунин С.Н. // Тез. докл. Всероссийск. науч.-техн. конф. "Микро- и нано-электроника". 2001. Т. 2. С. 33--34
- Серов И.Н. Общий курс BIP. СПб: Акцидент, 2002. 492 с
- Алексейцев А.В., Бельская Г.Н., Бонштедт Б.Э., Егорова Н.Б., Марголин В.И., Потсар Н.А., Серов И.Н. // Тез. докл. XIX Российской конференции по электронной микроскопии. 28 мая-31 мая 2002 г. Черноголовка, 2002. С. 26
- Броудай И., Мерей Дж. Физические основы микротехнологии / Пер. с англ. М.: Мир, 1985. 496 с., ил
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук