Рассмотрены и систематизированы возможные механизмы влияния примесей пятой и третьей групп таблицы Менделеева на люминесцентные свойства системы нанокристаллов кремния в SiO2. Приведены экспериментальные данные по влиянию ионной имплантации бора и азота на интенсивность фотолюминесценции. Эти данные вместе с ранее опубликованными результатами изучения ионного легирования фосфором обсуждаются с точки зрения указанных механизмов. Приведены также результаты по определению состояния имплантированного фосфора, полученные методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Показано, что усиление или ослабление фотолюминесценции зависит как от сорта легирующей примеси, так и от условий постимплантационной термообработки. Работа выполнена при поддержке фонда INTAS (грант N 00-0064) и программы Минобразования РФ "Научные исследования высшей школы в приоритетных направлениях науки и техники" (подпрограмма 205).
M. Fujii, S. Hayashi, K. Yamamoto. J. Appl. Phys. 83, 7953 (1998)
M. Fujii, A. Mimura, S. Hayashi, K. Yamamoto. Appl. Phys. Lett. 75, 2, 184 (1999)
A. Mimura, M. Fujii, S. Hayashi, D. Kovalev, F. Koch. Phys. Rev. B 62, 19, 12 625 (2000)
Г.А. Качурин, С.Г. Яновская, К.С. Журавлев. M.-O. Ruault. ФТП 35, 10, 1235 (2001)
D.I. Tetelbaum, O.N. Gorshkov, S.A. Trushin, D.G. Revin, D.M. Gaponova, W. Eckstein. Nanotechnology 11, 295 (2000)
D.I. Tetelbaum, S.A. Trushin, V.A. Burdov, A.I. Golovanov, D.G. Revin, D.M. Gaponova. Nucl. Instr. Meth. B 174, 123 (2001)
В.А. Бурдов, О.Н. Горшков, А.Н. Михайлов, Д.И. Тетельбаум, С.А. Трушин, Г.А. Качурин, С.Г. Яновская, Д.М. Гапонова. Изв. РАН. Сер. физ. 67, 2, 186 (2003)
G.A. Kachurin, I.E. Tischenko, K.S. Zhuravlev, N.A. Pazdnikov, V.A. Volodin, A.K. Gutakovsky, A.F. Leiser, W. Skorupa, R.A. Yankov. Nucl. Instr. Meth. B 122, 571 (1997)
K.S. Min, K.V. Scheglov, C.M. Yang, H.A. Atwater, M.L. Brongersma, A. Polman. Appl. Phys. Lett. 69, 2033 (1996)
B. Garrido Fernandez, M. Lopez, C. Garcia, A. Perez-Rodriguez, J.R. Morante, C. Bonafos, M. Carrada, A. Claverie. J. Appl. Phys. 91, 2, 798 (2002)
T. Shimizu-Iwayama, K. Fujita, S. Nakao, K. Saitoh, R. Fujita, N. Itoh. J. Appl. Phys. 75, 7779 (1994)
Y. Kanemitsu, S. Okamato. Phys. Rev. B 58, 9652 (1998)
M. Lannoo, C. Delerue, G. Allan, J. Lumin. 70, 170 (1996)
Г.А. Качурин, С.Г. Яновская, Д.И. Тетельбаум, А.Н. Михайлов. ФТП 37, 6, 738 (2003)
Л.С. Смирнов. Вопросы радиационной технологии полупроводников. Наука, Новосибирск (1980). 296 с
D.I. Tetelbaum, S.A. Trushin, A.N. Mikhaylov, V.K. Vasil'ev, G.A. Kachurin, S.G. Yanovskaya, D.M. Gaponova. Physica E: Low-dim. Syst. Nanostruct. 16, 3--4. 410 (2003)
J.B. Beales, C.R. Day. Phys. Chem. Glass. 21, 1, 5 (1980).