Издателям
Вышедшие номера
Диагностика атомной структуры металлических мультислойных наногетероструктур по данным рефлектометрии: новый подход к низкоконтрастным системам
Бабанов Ю.А.1, Саламатов Ю.А.1, Устинов В.В.1, Мухамеджанов Э.Х.
1Институт физики металлов Уральского отделения Российской академии наук, Екатеринбург, Россия
Поступила в редакцию: 23 октября 2013 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2014 г.

Разработан новый метод определения концентрационного профиля элементов металлических многослойных наногетероструктур для низкоконтрастных систем по данным рентгеновской рефлектометрии. Метод основан на решении интегрального уравнения Фредгольма первого рода, связывающего коэффициент отражения с концентрационными профилями элементов, входящих в состав образца. Обратная некорректная задача по определению концентрационного профиля решается методом регуляризации. Эффективность предлагаемого метода подтверждается модельными расчeтами, выполненными для четырeхслойной структуры Cr/Gd/Fe/Cr//Si, где имеются как высококонтрастные пары (Cr/Gd), так и пары с низкой контрастностью (Fe/Cr). Получены экспериментальные результаты по определению концентрационного профиля поверхностного слоя тонких эпитаксиальных плeнок Cr и трeхслойной структуры Cr/Fe/Cr, нанесeнных на подложку Al2O3. Измерения выполнены в Курчатовском центре синхротронного излучения и нанотехнологий (Москва). Работа выполнена при поддержке Программы фундаментальных исследований Президиума РАН "Основы фундаментальных исследований нанотехнологий и наноматериалов" (проект N 12-П-2-1032), РФФИ (грант N 12-02-31563-мол\_а) и Президентской программы ведущих научных школ НШ-6172.2012.2.
  • L.G. Parratt. Phys. Rev. 95, 359 (1954)
  • X-ray and neutron reflectivity: principles and applications / Eds J. Daillant, A. Gibaud. Springer, Berlin-Heidelberg (2009). 348 p
  • K.M. Zimmerman. Advanced analysis techniques for X-ray reflectivities: theory and application. Dissertation. Universitat Dortmund, Karlsruhe (2005). 185 p
  • J. Als-Nielsen, D. McMorrow. Elements of modern X-ray Physics. 2nd ed. Wiley 2012. 432 p
  • А.В. Виноградов, Н.Н. Зорев, И.В. Кожевников, И.Г. Якушкин. ЖЭТФ 89, 2124 (1985)
  • I. Kozhevnikov, L. Peverini, E. Ziegler. J. Appl. Phys. 104, 054 914 (2008)
  • I. Kozhevnikov, L. Peverini, E. Ziegler. Phys. Rev. B 85, 12 543 (2012)
  • Ю.О. Волков, И.В. Кожевников, Б.С. Рощин, Е.О. Филатова, В.Е. Асадчиков. Кристаллография 58, 146 (2013)
  • O.H. Seeck, I.D. Kaendler, M. Tolan, K. Shin, M.H. Rafailovich, J. Sokolov. Appl. Phys. Lett. 76 2713 (2000)
  • A. de Bernabe, M.J. Capitan, H.E. Fischer, C. Prieto. J. Appl. Phys. 84 1881 (1998)
  • Yu.A. Babanov, Yu.A. Salamatov, E.Kh. Mukhamedzhanov. J. Phys.: Conf. Ser. 190, 012 030 (2009)
  • Дж. Займан. Модели беспорядка. Пер. с англ. Мир, M. (1982). 592 c
  • M.V. Klibanov, P.E. Sacks. J. Math. Phys. 33, 11, 3813 (1992)
  • A.N. Tikhonov, V.Ya. Arsenin. Solution of Ill-posed problems. Winston, Washington (1977). 258 p
  • V.V. Vasin, A.L. Ageev, Ill-posed problems with a priori information. Inverse and Ill-posed problems Ser. VSP, Utrecht, The Netherlands, (1995). 255 p
  • Ю.А. Бабанов. B кн.: Д.И. Кочубей, Ю.А. Бабанов, К.И. Замараев, Р.В. Ведринский, В.Л. Крайзман, Г.Н. Кулипанов, Л.Н. Мазалов, А.Н. Скринский, В.К. Фёдоров, Б.Ю. Хельмер, А.Т. Шуваев. Рентгеноспектральный метод изучения структуры аморфных тел: EXAFS-спектроскопия / Под ред. Г.М. Жидомирова. Наука, Новосибирск (1988). С. 216-263
  • V.P. Romanov, S.V. Ulyanov, V.M. Uzdin, G. Nowak, K. Shokuie, H. Zabel. Phys. Rev. B 82, 165 416 (2010)
  • M. Sharma, M.K. Sanyal, M.K. Mukhopadhyay, M.K. Bera, B. Saha, P. Chakraborty. J. Appl. Phys. 110, 102 204 (2011)
  • X-ray interactions with matter. URL: http://henke.lbl.gov/ optical\_constants/
  • W.L. Clinton. Phys. Rev. B. 48, 1, 1 (1993)
  • A. van der Lee. Eur. Phys. J B 13, 4, 755 (2000)
  • А.Ф. Верлань, В.С. Сизиков. Интегральные уравнения. Наук. думка, Киев (1986). 543 с
  • Ю.А. Бабанов. Рентгеновские методы исследования атомной структуры аморфных тел. Ч. 1. Метод аномального рассеяния рентгеновских лучей. Изд-во Удмурт. ун-та, Ижевск (1995). 87 с
  • Ю.А. Бабанов. Рентгеновские методы исследования атомной структуры аморфных тел. Ч. 2. Метод рентгеноспектрального структурного анализа. Изд-во Удмурт. ун-та, Ижевск (1995). 127 с
  • Д.И. Кочубей, Ю.А. Бабанов, К.И. Замараев, Р.В. Ведринский, В.Л. Крайзман, Г.Н. Кулипанов, Л.Н. Мазалов, А.Н. Скринский, В.К. Фёдоров, Б.Ю. Хельмер, А.Т. Шуваев. Рентгеноспектральный метод изучения структуры аморфных тел: EXAFS-спектроскопия / Под ред. Г.М. Жидомирова. Наука, Новосибирск (1988). 306 с
  • Yu.A. Babanov, O.M. Nemtsova, I.Yu. Kamensky, S.S. Mikhailova. J. Electron Spectr. Related Phenom. 182, 90 (2010)
  • Описание станции прецизионной рентгеновской оптики КЦСИ. http://www.kcsr.kiae.ru/stations/k6.6.php
  • В.В. Васин, Г.Я. Пересторонина. Тр. Ин-та математики и механики УрО РАН, 17, 53 (2011)
  • А.С. Авилов, В.В. Волков, С.П. Губин, Ю.А. Дьякова, М.А. Ермакова, М.А. Запорожозец, Ю.А. Кузин, М.А. Марченковаа, В.А. Митюхляев, Е.Г. Рустамова, С.Н. Сульянов, П.А. Толуа, Л.И. Чекрыгина. Рос. нанотехнологии 8, 5-6, 30 (2013)
  • T. Narayanan. In: Soft matter Characterization / Eds R. Dorbali, R. Recora. Springer, Heidelberg (2008). P. 899-952
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.