"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Спектральная интерференция в карбидокремниевой n--n+-структуре
Панов М.Ф.1, Растегаев В.П.1, Корлякова С.А.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ", Санкт-Петербург, Россия
Email: 19_panov_59@mail.ru
Поступила в редакцию: 22 ноября 2013 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2014 г.

Продемонстрировано наблюдение спектральной интерференции в карбидокремниевой структуре, в которой эпитаксиальный слой и подложка отличаются только мнимой частью показателя преломления. Результаты определения толщины слоя по периоду интерференции проконтролированы непосредственным измерением толщины слоя при помощи растровой электронной микроскопии. Спектральная зависимость вещественной части показателя преломления карбида кремния дополнена диапазоном длин волн 1.5-7 mum.
  • Микроскопия интегральных схем / Под ред. В.В. Лучинина. СПб.: Изд-во. СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2009. 172 с
  • Димитров Д.Ц., Лучинин В.В., Мошников В.А., Панов М.Ф. // ЖТФ. 1999. Т. 69. Вып. 4. С. 129--131
  • Лучинин В.В., Панов М.Ф. // Микроэлектроника. 2002. Т. 31. N 2. С. 129--134
  • Мартинсон Л.К., Малов Ю.И. Дифференциальные уравнения математической физики: Изд-во МГТУ им. Баумана, 2002. 368 с
  • Narita K., Hijikata Y., Yaguchi H., Yoshidal S., Nakashima S. // Japan. Appl. Phys. 2004. Vol. 43. N 8A. P. 5151--5156
  • Nakashima S., Harima H. // Appl. Phys. 2004. Vol. 95. P. 3541--3546
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.