Проведены исследования особенностей совместной работы магнетронной распылительной системы (МРС) с ионным источником на основе торцевого холловского ускорителя (ТХУ). Отмечено, что при включении разряда магнетрона происходит частичная или полная нейтрализация ионного пучка, генерируемого ТХУ, т. е. при определенных режимах МРС ионный источник функционирует в безнакальном режиме. В данном случае разряд магнетрона является источником электронов, необходимых для поддержания разряда и компенсации ионного пучка ТХУ. Установлены зависимости разрядных характеристик ТХУ и МРС при использовании для компенсации ионного пучка ТХУ накального нейтрализатора и разряда МРС. На основе анализа совместной работы МРС и ТХУ рассмотрен баланс токов системы ионный источник-магнетронная распылительная система. Показано, что максимальный ток разряда ионного источника, при котором сохраняется условие скомпенсированности разряда, зависит от несбалансированности и тока разряда магнетрона.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.