"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Твердые углеродные покрытия, наносимые методом импульсного сильноточного магнетронного распыления
Оскомов К.В.1, Соловьев А.А.1, Работкин С.В.1
1Институт сильноточной электроники СО РАН, Томск, Россия
Email: oskomov@lae.hcei.tsc.ru
Поступила в редакцию: 13 марта 2014 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2014 г.

Твердые (до 17 GPa) углеродные покрытия наносились на торцевые SiC-подшипники, используемые в жидкостных насосах, методом импульсного сильноточного магнетронного распыления графита. За счет этого удалось уменьшить коэффициент трения с 0.43 до 0.11 и скорость износа с 26 до 0.307 mum3N-1m-1, что увеличило срок службы подшипников примерно в 3 раза. Причиной осаждения твердых и износостойких углеродных покрытий является генерация плотной (до 1013 cm-3) плазмы.
  • Robertson J. // Adv. Phys. 1986. V. 35. P. 317--321
  • Polo M.C., Andujar J.L., Robertson J., Milne W.I. // Diam. Relat. Mater. 2000. P. 663--670
  • Weiler M., Lang K., Li E., Robertson J. // Appl. Phys. Lett. 1998. V. 72. P. 1314--1316
  • Kulikovsky V., Bohac P., Franc F., Deineka A., Vorlicek V., Jastarbik L. // Diamond and Related Materials. 2001. V. 10. P. 1076--1081
  • Одиванова А.Н., Подковыров В.Г., Сочугов Н.С., Оскомов К.В. // Физика плазмы. 2010. Т. 36. Вып. 1. С. 1--6
  • McKenzie D.R., Tarrant R.N., Bilek M.M.M., Pearce G., Marks N.A., McCulloch D.G., Lim S.H.N. // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. 2003. V. 206. P. 741--744
  • Bilek M.M.M., Verdon M., Ryves L., Oates T.W.H., Ha C.T., McKenzie D.R. // Thin Solid Films. 2005. V. 482. P. 69--73
  • Зайдель А.Н., Прокофьев В.К., Райский С.М., Славный В.А., Шрейдер Е.Я. Таблицы спектральных линий. М.: Наука, 1969. 784 с
  • Соловьев А.А., Сочугов Н.С., Оскомов К.В., Работкин С.В. // Физика плазмы. 2009. Т. 35. Вып. 5. С. 443--452
  • Oliver W., Pharr J. // J. Mater. Res. 1992. V. 7. P. 1564--1572
  • Lifshitz Y., Lempert G.D., Grossman E. // Phys. Rev. Lett. 1994. V. 72. N 17. P. 2753--2756
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.