Вышедшие номера
Определение удельного сопротивления вертикально ориентированных углеродных нанотрубок методами сканирующей зондовой микроскопии
Агеев О.А.1, Ильин О.И.1, Рубашкина М.В.1, Смирнов В.А.1, Федотов А.А.1, Цуканова О.Г.1
1Южный федеральный университет, Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения, Таганрог, Россия
Email: ageev@sfedu.ru
Поступила в редакцию: 1 сентября 2014 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2015 г.

Представлены результаты разработки методик определения удельного и погонного сопротивлений вертикально ориентированных углеродных нанотрубок (ВОУНТ) с использованием методов атомно-силовой микроскопии (АСМ) и сканирующей туннельной микроскопии (СТМ). Представлены результаты экспериментальных исследований сопротивления ВОУНТ на основе разработанных методик. Показано, что значения сопротивления индивидуальной ВОУНТ, рассчитанные с использованием методики на основе метода АСМ, более чем в 200 раз превышают сопротивления ВОУНТ, полученные на основе метода СТМ, что связано с влиянием сопротивления контакта зонда АСМ к ВОУНТ. Погонное и удельное сопротивления индивидуальных ВОУНТ с диаметром 118±39 nm и высотой 2.23±0.37 mum, определенные на основе разработанной методики с использованием метода СТМ, составили 19.28±3.08 kOmega/mum и 8.32±3.18·10-4 Omegam соответственно. Разработанная методика определения удельного и погонного сопротивлений ВОУНТ на основе метода СТМ может быть использована для диагностики электрических параметров ВОУНТ, а также при создании элементов наноэлектроники на основе ВОУНТ.
  1. Lan Y., Wang Y., Ren Z. // Adv. Phys. 2011. Vol. 60. N 4. P. 553--678
  2. Lu X.B., Dai J.Y. // Appl. Phys. Lett. 2006. Vol. 88. P. 113 104
  3. Li H., Banerjee K. // IEEE T. Electron Dev. 2009. Vol. 56. N 10. P. 2202--2214
  4. Chiodarelli N., Masahito S., Kashiwagi Y., Li Y., Arstila K., Richard O., Cott D.J., Heyns M., Gendt St., Groeseneken G., Vereecken Ph.M. // Nanotechnology. 2011. Vol. 22. P. 085 302
  5. Ichimura K., Osawa M., Nomura K., Kataura H., Maniwa Y., Suziki S., Achiba Y. // Phys. B. 2002. Vol. 323. P. 230--232
  6. Агеев О.А., Блинов Ю.Ф., Ильин О.И., Коломийцев А.С., Коноплев Б.Г., Рубашкина М.В., Смирнов В.А., Федотов А.А. // ЖТФ. 2013. Т. 83. Вып. 12. С. 128--133
  7. Коноплев Б.Г., Агеев О.А., Коломийцев А.С., Смирнов В.А., Сербу Н.И. // Микроэлектроника. 2012. Т. 41. N 1. C. 47--56
  8. Агеев О.А., Ильин О.И., Коломийцев А.С., Коноплев Б.Г., Рубашкина М.В., Смирнов В.А., Федотов А.А. // Микро- и наносистемная техника. 2012. N 3. С. 9--13
  9. Ageev O.A., Blinov Yu.F., Ilin O.I., Rubashkina M.V., Smirnov V.A., Fedotov A.A. // Proc. International Symposium "Physics and Mechanics of New Materials and Underwater Applications". Thailand, 2014. P. 12
  10. Ngo Q., Petranovic D., Krishnan Sh., Cassell A.M., Ye Q., Li J., Meyyappan M., Yang C.Y. // IEEE T. Nanotechnol. 2004. Vol. 3. N 2. P. 311--317
  11. Kim G., Bernholc J., Kwon Y.-K. // Appl. Phys. Lett. 2010. Vol. 97. P. 063 113
  12. Won H., Willis R.F. // Surf. Sci. 2010. Vol. 604. P. 491--495
  13. Чистяков Ю.Д., Баранов В.В., Достанко А.П. // Обзоры по электронной технике. Сер. полупроводниковые приборы. 1973. Вып. 7 (143). С. 364
  14. Vivo B., Lamberti P., Spinelli G., Tucci V. // Rom. J. Inf. Sci. Tech. 2010. Vol. 13. N 1. P. 33--48
  15. Fathi D., Forouzandeh B. Carbon Nanotubes / Ed. by J.M. Marulanda. InTech., 2010. P. 275--297

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.