Представлены результаты разработки методик определения удельного и погонного сопротивлений вертикально ориентированных углеродных нанотрубок (ВОУНТ) с использованием методов атомно-силовой микроскопии (АСМ) и сканирующей туннельной микроскопии (СТМ). Представлены результаты экспериментальных исследований сопротивления ВОУНТ на основе разработанных методик. Показано, что значения сопротивления индивидуальной ВОУНТ, рассчитанные с использованием методики на основе метода АСМ, более чем в 200 раз превышают сопротивления ВОУНТ, полученные на основе метода СТМ, что связано с влиянием сопротивления контакта зонда АСМ к ВОУНТ. Погонное и удельное сопротивления индивидуальных ВОУНТ с диаметром 118±39 nm и высотой 2.23±0.37 mum, определенные на основе разработанной методики с использованием метода СТМ, составили 19.28±3.08 kOmega/mum и 8.32±3.18·10-4 Omegam соответственно. Разработанная методика определения удельного и погонного сопротивлений ВОУНТ на основе метода СТМ может быть использована для диагностики электрических параметров ВОУНТ, а также при создании элементов наноэлектроники на основе ВОУНТ.
Lan Y., Wang Y., Ren Z. // Adv. Phys. 2011. Vol. 60. N 4. P. 553--678
Lu X.B., Dai J.Y. // Appl. Phys. Lett. 2006. Vol. 88. P. 113 104
Li H., Banerjee K. // IEEE T. Electron Dev. 2009. Vol. 56. N 10. P. 2202--2214
Chiodarelli N., Masahito S., Kashiwagi Y., Li Y., Arstila K., Richard O., Cott D.J., Heyns M., Gendt St., Groeseneken G., Vereecken Ph.M. // Nanotechnology. 2011. Vol. 22. P. 085 302
Ichimura K., Osawa M., Nomura K., Kataura H., Maniwa Y., Suziki S., Achiba Y. // Phys. B. 2002. Vol. 323. P. 230--232
Агеев О.А., Блинов Ю.Ф., Ильин О.И., Коломийцев А.С., Коноплев Б.Г., Рубашкина М.В., Смирнов В.А., Федотов А.А. // ЖТФ. 2013. Т. 83. Вып. 12. С. 128--133
Коноплев Б.Г., Агеев О.А., Коломийцев А.С., Смирнов В.А., Сербу Н.И. // Микроэлектроника. 2012. Т. 41. N 1. C. 47--56
Агеев О.А., Ильин О.И., Коломийцев А.С., Коноплев Б.Г., Рубашкина М.В., Смирнов В.А., Федотов А.А. // Микро- и наносистемная техника. 2012. N 3. С. 9--13
Ageev O.A., Blinov Yu.F., Ilin O.I., Rubashkina M.V., Smirnov V.A., Fedotov A.A. // Proc. International Symposium "Physics and Mechanics of New Materials and Underwater Applications". Thailand, 2014. P. 12
Ngo Q., Petranovic D., Krishnan Sh., Cassell A.M., Ye Q., Li J., Meyyappan M., Yang C.Y. // IEEE T. Nanotechnol. 2004. Vol. 3. N 2. P. 311--317
Kim G., Bernholc J., Kwon Y.-K. // Appl. Phys. Lett. 2010. Vol. 97. P. 063 113
Won H., Willis R.F. // Surf. Sci. 2010. Vol. 604. P. 491--495
Чистяков Ю.Д., Баранов В.В., Достанко А.П. // Обзоры по электронной технике. Сер. полупроводниковые приборы. 1973. Вып. 7 (143). С. 364
Vivo B., Lamberti P., Spinelli G., Tucci V. // Rom. J. Inf. Sci. Tech. 2010. Vol. 13. N 1. P. 33--48
Fathi D., Forouzandeh B. Carbon Nanotubes / Ed. by J.M. Marulanda. InTech., 2010. P. 275--297
© 2017 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук