"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Исследование свойств контактных покрытий на основе наноразмерных пленок рутения для МЭМС-коммутаторов
Карабанов С.М.1, Верлов Н.А.1, Суворов Д.В.1, Гололобов Г.П.1, Сливкин Е.В.1
1Рязанский государственный радиотехнический университет
Email: dmitriy_suvorov@mail.ru
Поступила в редакцию: 30 декабря 2015 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2015 г.

Приведены результаты исследования коммутационных свойств контактных покрытий на основе наноразмерных пленок рутения, полученных методом электрохимического осаждения. Установлены закономерности изменения контактного сопротивления в зависимости от числа циклов коммутации при различных толщинах и шероховатости покрытия. По результатам эксперимента были установлены оптимальные параметры контактного покрытия, необходимые для обеспечения минимальной величины контактного сопротивления МЭМС-коммутатора (микроэлектромеханического коммутатора) в установившемся режиме.
  • Vincent M., Chiesi L., Fourrier J.C., Garnier A., Grappe B., Lapiere C., Coutier C., Samperio A., Paineau S. // 54th IEEE Holm Conference. Orlando, October 27--29, 2008. P. 145--150
  • Coutier C., Chiesi L., Garnier A., Fourrier J.C., Lapi\`ere C., Trouillon M., Grappe B., Vincent M., Samperio A., Borel S., Dieppedale C., Lorent E., Sibuet H. // Proc. 15th International Conference Transducers. 2009. Denver, June 21--25, 2009. P. 861--864
  • Карабанов С.М., Карабанов А.С., Суворов Д.В., Сажин Б.Н., Крутилин А.А., Граппе Б., Кутьер К., Сибьют Г. // Электронная промышленность. 2009. N 4. С. 51--58
  • Arushanov K.A., Drozdov M.N., Karabanov S.M., Zeltser I.A., Tolstogouzov A. // Appl. Surf. Sci. 2012. V. 265. 15 January 2013. P. 642--647
  • Карабанов С.М., Локштанова О.Г. Электролитические покрытия магнитоуправляемых герметизированных контактов (герконов). Рязань, 2011. 245 с
  • Гололобов Г.П. Исследование структуры покрытия и морфологии контактирующей поверхности магнитоуправляемых контактов методом атомно-силовой микроскопии: Дис. канд. техн. наук. Рязань, 2006. 149 с
  • Карабанов С.М., Локштанова О.Г. // Журнал прикладной химии. 2008. Т. 81. В. 6. С. 961--964
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.