"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Определение толщин ультратонких поверхностных пленок в наноструктурах по энергетическим спектрам отраженных электронов
Купреенко С.Ю., Орликовский Н.А., Рау Э.И., Тагаченков А.М., Татаринцев А.А.1
1Физико-технологический институт РАН, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 19 февраля 2015 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2015 г.

Рассмотрен новый метод определения толщин оптически непрозрачных пленок на массивных подложках в нанометровом диапазоне размеров. Метод базируется на анализе и измерении энергетических спектров обратнорассеянных электронов. Толщины локальных пленочных наноструктур определяются по амплитудным значениям спектров и по их сдвигу на энергетической оси.
  • Миронов В.Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии. М.: Техносфера, 2004. 520 с
  • Niedrig H. // J. Appl. Phys. 1982. Vol. 53. P. R15--R31
  • DeNee P.B. // In: Scanning Electron Microscopy. SEM Inc. Ed. O'Hare. Chicago, 1978. Vol. 1. P. 741--745
  • Schlichting F., Berger D., Niedrig H. // Scanning. 1999. Vol. 21. P. 197--200
  • Rau E., Hoffmeister H., Sennov R., Kohl H. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2002. Vol. 35. P. 1433--1437
  • Dapor M., Rau E., Sennov R. // J. Appl. Phys. 2007. Vol. 102. P. 063 705--063 708
  • Афанасьев В.П., Лубенченко А.В., Поволоцкий А.Б., Федорович С.Д. // ЖТФ. 2002. Т. 72. С. 101--106
  • Гостев А.В., Орликовский Н.А., Рау Э.И., Трубицин А.А. // ЖТФ. 2013. Т. 83. С. 140--147
  • Рау Э.И., Дицман С.А., Зайцев С.В., Лермонтов Н.В., Лукьянов А.Е., Купреенко С.Ю. // Изв. РАН. Сер. физ. 2013. Т. 77. С. 1050--1058
  • Reimer R., Bongeler M., Kassens M., Liebscher F., Senkel R. // Scanning. 1991. Vol. 13. P. 381--385
  • Kanaya K., Okayama S. // J. Phys. D: Appl. Phys. 1972. Vol. 5. P. 43--49
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.