"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Модификация структуры покрытий TiAlN путем предварительной бомбардировки стальной подложки ионами Ti
Шугуров А.Р., Акулинкин А.А., Панин А.В., Перевалова О.Б., Сергеев В.П.1
1Институт физики прочности и материаловедения СО РАН, Томск, Россия
Поступила в редакцию: 12 мая 2015 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 2016 г.

Методами рентгеновской дифракции просвечивающей электронной и атомно-силовой микроскопии, а также наноиндентирования изучены покрытия TiAlN, нанесенные на подложки из стали 12Х18Н9Т до и после предварительной обработки пучками ионов Ti. Показано, что модификация поверхностного слоя подложки приводит к изменению структуры и преимущественной ориентации покрытий. Установлено, что механические свойства покрытий TiAlN существенно зависят от длительности ионной бомбардировки.
  • Posti E. // Wear. 1989. Vol. 129. N 2. P. 273--283
  • Hedenqvist P., Olsson M., Wallen P., Kassman A., Hogmark S., Jacobson S. // Surf. Coat. Technol. 1990. Vol. 41. N 2. P. 243--256
  • Djomeni L., Mourier T., Minoret S., Fadloum S., Piallat F., Burgess S., Price A., Zhou Y., Jones C., Mathiot D., Maitrejean S. // Microelectron. Eng. 2014. Vol. 120. P. 127--132
  • Selvakumar N., Barshilla H.C. // Sol. Energy Mater. Sol. Cells. 2012. Vol. 98. P. 1--23
  • Liu W., Hu H., Pu N., Liang S. // J. Alloys Comp. 2015. Vol. 631. P. 146--152
  • Wang D., Chiu M. // Surf. Coat. Tecnol. 2002. Vol. 156. N 1--3. P. 201--207
  • Chim Y., Ding X., Zeng X., Zhang S. // Thin Solid Films. 2009. Vol. 517. P. 4845--4849
  • McIntyre D., Green J.E., Hakansson G., Sundgren J.-E., Munz W.-D. // J. Appl. Phys. 1990. Vol. 67. N 3. P. 1542--1553
  • Kawate M., Hashimoto A.K., Suzuki T. // Surf. Coat. Technol. 2003. Vol. 165. N 2. P. 163--167
  • Roos J.R., Celis J.P., Vancoille E., Veltrop H., Boelens S., Jungblut F., Ebberink J., Homberg H. // Thin Solid Films. 1990. Vol. 193--194. P. 547--556
  • PalDey S., Deevi S.C. // Mater. Sci. Eng. A. 2003. Vol. 342. P. 58--79
  • Madan A., Kim I.W., Cheng S.C., Yashar P., Dravid V.P., Barnett S.A. // Phys. Rev. Lett. 1997. Vol. 78. N 9. P. 1743--1746
  • Liu Z.-J., Shum P.W., Shen Y.G. // Thin Solid Films. 2004. Vol. 468. N 1--2. P. 161--166
  • Carvalho S., Ribeiro E., Rebouta L., Pacaud J., Goudeau Ph., Ranault P.O., Riviere J.P., Tavares C.J. // Surf. Coat. Technol. 2003. Vol. 172. P. 109--116
  • Табаков В.П., Чихранов А.В. Износостойкие покрытия режущего инструмента, работающего в условиях непрерывного резания. Ульяновск: УлГТУ, 2007. 255 с
  • Suzuki T., Huang D., Ikuhara Y. // Surf. Coat. Technol. 1998. Vol. 107. N 1. P. 41--47
  • Schonjahn C., Bamford M., Donohue L.A., Lewis D.B., Forder S., Munz W.-D. // Surf. Coat. Technol. 2000. Vol. 125. N 1--3. P. 66--70
  • Shum P.W., Li K.Y., Shen Y.G. // Surf. Coat. Technol. 2005. Vol. 198. N 1--3. P. 414--419
  • Wang D.-Y., Chang C.-L., Wong K.-W., Li Y.-W., Ho W.-Y. // Surf. Coat. Technol. 1999. Vol. 120--121. P. 388--394
  • Панин А.В., Казаченок М.С., Шугуров А.Р., Сергеев В.П. // ЖТФ. 2012. Т. 15. N 6. С. 44--52
  • Culliy B.D., Stock S.R. Elements of X-ray diffraction. 3-=SUP=-rd-=/SUP=- Edition. Prentice-Hall, NewJersey, USA, 2001. 664 p
  • Ikeda T., Satoh H. // Thin Solid Films. 1991. Vol. 195. P. 99--110
  • Zhou M., Makino Y., Nose M., Nogi K. // Thin Solid Films. 1999. Vol. 339. P. 203--208
  • Cammarata R.C., Eby R.K. // J. Mater. Res. 1991. Vol. 6. N 5. P. 888--890
  • Pelleg J., Zevin L.Z., Lungo S. // Thin Solid Films. 1991. Vol. 197. P. 117--128
  • Oh U.C., Je J.H., Lee J.Y. // J. Mater. Res. 1995. Vol. 10. N 3. P. 634--639
  • Myers M.T., Sencer B.H., Shao L. // Nucl. Instrum. Methods B. 2012. Vol. 272. P. 165--168
  • Xie F.Y., Gong L., Liu X., Tao Y.T., Zhang W.H., Chen S.H., Meng H., Chen J. // J. Electron. Spectrosc. Relat. Phenom. 2012. Vol. 185. P. 112--118
  • Thornton J.A. // Ann. Rev. Mater. Sci. 1977. Vol. 7. P. 239--260
  • Мовчан Б.А., Демчишин А.В. // ФММ. 1969. Т. 28. N 4. С. 653--660
  • Cairney J.M., Harris S.G., Munroe P.R., Doyle E.D. // Surf. Coat. Technol. 2004. Vol. 183. P. 239--246
  • Martin P.J., Bendavid A., Netterfield R.P., Kinder T.J., Jahan F., Smith G. // Surf. Coat. Technol. 1999. Vol. 112. P. 257--260
  • Derfinger V., Brandle H., Zimmerman H. // Surf. Coat. Technol. 1999. Vol. 113. P. 286--292
  • Patscheider J., Zehnder T., Diserens M. // Surf. Coat. Technol. 2001. Vol. 146--147. P. 201--208.
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.