"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Особенности процесса воздействия лазерного излучения на тонкие пленки молибдена
Волков А.В., Казанский Н.Л., Моисеев О.Ю., Паранин В.Д., Полетаев С.Д.1,2, Чистяков И.В.3
1Самарский государственный аэрокосмический университет им. акад. С.П. Королева (Национальный исследовательский университет), Самара, Россия
2Институт систем обработки изображений РАН, Самара, Россия
3ООО Интерлаб, Москва, Россия
Email: sergpolet@gmail.com
Поступила в редакцию: 2 марта 2015 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2016 г.

Проведены исследования процесса воздействия лазерного излучения на пленки молибдена толщиной менее 100 nm. Представлены экспериментальные доказательства гипотезы, согласно которой пленки тугоплавких металлов способны подвергаться абляции при воздействии лазерного излучения за счет образования промежуточной оксидной фазы. Объяснен эффект трехкратного уменьшения ширины зоны абляции при воздействии сканирующего лазерного излучения.
  • Вейко В.П., Корольков В.И., Полещук А.Г., Саметов А.Р., Шахно Е.А., Ярчук М.В. // Квантовая электроника. 2011. Т. 41. N 7. С. 631-636
  • Kononenko T.V., Kononenko V.V., Konov V.I., Pimenov S.M., Garnov S.V., Tishchenko A.V., Prokhorov A.M., Khomich A.V. // Appl. Phys. A. 1999. Vol. 68. С. 99-102
  • Анисимов С.И., Имас Я.А., Романов Г.С., Ходыко Ю.В. Действие большой мощности на металлы. М.: Наука, 1970. 272 с
  • Волков А.В., Моисеев О.Ю., Полетаев С.Д., Чистяков И.В. // Компьютерная оптика. 2014. Т. 38. N 4. С. 757-762
  • Heise G., Englmaier M., Hellwig C., Kuznicki T., Sarrach S., Huber Heinz P. // Appl. Phys. A: Materials Science \& Processing. 2011. V. 102. N 1. P. 173-178
  • Волков А.В., Казанский Н.Л., Моисеев О.Ю., Полетаев С.Д. // ЖTФ. 2015. Т. 85. N 2. С. 107-111
  • Казанский Н.Л. // Известия Самарского научного центра PAH. 2011. Т. 13. N 4. С. 54-62
  • Battaglia C., Yin X., Zheng M., Sharp Ian D., Chen T., McDonnell S., Azcatl A., Carraro C., Ma B., Maboudian R., Wallace R.M., Javey A. // Nano Lett. 2014. Vol. 14. P. 967-971
  • Яковлев П.П., Мешков Б.Б. Проектирование интерференционных покрытий. М.: Машиностроение, 1987. 185 с
  • Либенсон М.Н. Лазерно-индуцированные оптические и термические процессы в конденсированных средах и их взаимное влияние. СПб.: Наука, 2007. 423 с
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.