Издателям
Вышедшие номера
О роли вторичной экстинкции при измерении интегральной интенсивности рентгенодифракционных пиков и определении толщины нарушенных эпитаксиальных слоев
Кютт Р.Н.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: r.kyutt@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 12 августа 2015 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2016 г.

Измерены интегральные интенсивности рентгенодифракционных отражений для серии эпитаксиальных слоев AIII-нитридов (GaN, AlN, AlGaN), выращенных на разных подложках (сапфир, SiC) и имеющих разную степень структурного совершенства. Показано, что, несмотря на большую плотность дислокаций и значительное уширение дифракционных пиков, полученные значения не описываются кинематической теорией дифракции и свидетельствуют о существовании экстинкции. Результаты анализируются на основе моделей экстинкции Дарвина и Захариазена. Путем использования двух порядков отражения как в брэгговской геометрии (0002 и 0004), так и в лауэвской (10\=10) и 11\=20) определены значения коэффициента вторичной экстинкции и толщина эпитаксиальных слоев. Показано, что вторичная экстинкция тем больше, чем меньше уширение дифракционных пиков и, следовательно, плотность дислокаций. Для слоев с регулярной системой прорастающих дислокаций коэффициент вторичной экстинкции из Лауэ-отражений значительно больше, чем из брэгговских отражений.
  • М.А. Кривоглаз. Теория рассеяния рентгеновских лучей и тепловых нейтронов реальными кристаллами. Наука, М. (1967). 336 с
  • P.H. Dederichs. J. Phys. F 3, 471 (1973)
  • B.C. Larson. J. Appl. Cryst. 8, 150 (1975)
  • V.M. Kaganer, O. Brandt, A. Trampert, K.H. Ploog. Phys. Rev. B 72, 045 448 (2005)
  • V.M. Kaganer, A. Shalimov, J. Bak-Misiuk, K.H. Ploog. J. Phys.: Condens. Matter 18, 5047 (2006)
  • M. Barchuk, V. Holy, B. Miljevic, B. Krause, T. Baumbach, J. Hertkom, F. Scholz. J. Appl. Phys. 108, 043 521 (2010)
  • W.H. Zahariasen. Acta Cryst. 23, 558 (1967)
  • Р. Джеймс. Оптические принципы дифракции рентгеновских лучей. Пер. с англ. ИЛ, М. (1950), 720 c
  • P. Becker. Acta Cryst. A 33, 243 (1977)
  • P.J. Becker, P. Coppens. Acta Cryst. A 30, 129 (1974)
  • J.L. Lowrence. Acta Cryst. A 30, 454 (1974)
  • J.L. Lowrence. Acta Cryst. A 33, 232 (1977)
  • Р.Н. Кютт, Ю.П. Хапачев. ЖТФ 63, 12, 50 (1993)
  • Р.Н. Кютт, В.В. Ратников, Г.Н. Мосина, М.П. Щеглов. ФТТ 41, 30 (1999)
  • V.V. Ratnikov, R.N. Kyutt, T.V. Shubina, T. Pashkova, B. Monemar. J. Phys. D. 34, 30 (2001)
  • T. Cromer, D. Liberman. J. Chem. Phys. 53, 1891 (1970)
  • L. Kirste, K.M. Pavlov, S.T. Mudie, V.I. Punegov, N. Herres. J. Appl. Cryst. 38, 183 (2005)
  • Р.Н. Кютт, А.А. Дышеков. Письма ЖТФ 37, 7, 31 (2011).
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.