Издателям
Вышедшие номера
Формирование микрокристаллов кубической фазы ZrO2 при кристаллизации аморфных пленок, осажденных методом лазерной абляции Zr в атмосфере кислорода
Нет
Багмут А.Г.1, Багмут И.А.1, Резник Н.А.1
1Национальный технический университет "Харьковский политехнический институт", Харьков, Украина
Email: Bagmut@kpi.Kharkov.ua
Поступила в редакцию: 23 ноября 2015 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2016 г.

Изучены структура и фазовые превращения при отжиге пленок диоксида циркония, полученных импульсным лазерным распылением мишени Zr в атмосфере кислорода. Исследования проведены методами просвечивающей электронной микроскопии и электронографии. Установлены условия формирования как аморфной, так и кубической фазы ZrO2. Воздействие на аморфную пленку электронного луча в вакууме сопровождается образованием микрокристаллов диоксида циркония с ГЦК-решеткой. Средний размер зерен в закристаллизованной пленке составляет ~0.5 mum. Фазовое превращение сопровождается уплотнением материала пленки. Относительное изменение плотности при кристаллизации ZrO2 составляет 10.27±2.14%.
  • А.В. Ушаков, И.В. Карпов, А.А. Лепешев. ФТТ 57, 2251 (2015)
  • В.Г. Заводинский, А.Н. Чибисов. ФТТ 48, 343 (2006)
  • I.P. Studenyak, M. Kranjcec, O.T. Nahusko, O.M. Borets. Thin Solid Films 476, 137 (2005)
  • М.А. Пугачевский, В.Г. Заводинский, А.П. Кузьменко. ЖТФ 81, 2, 98 (2011)
  • А.Г. Багмут, И.А. Багмут, В.А. Жучков, М.О. Шевченко. ЖТФ 82, 6, 122 (2012)
  • А.Г. Багмут. Электронная микроскопия пленок, осажденных лазерным испарением. Изд-во НТУ "ХПИ", Харьков (2014). 304 с
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.